半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物与重金属的综合治理.pdfVIP

第11期 电 子 学 报 vol28 Noll 2000年11月 ACTAⅡ正∞(蚋ICASINICA Nov砌 半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯 及氮氧化物和重金属的综合治理 闻瑞梅 (同济大学，上海200092) 摘要：本文介绍了在半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物、重金属及各种酸的综告治理方法、 工艺流程和设备，用中和絮凝沉降一体化装置，利用共生沉淀的原理处理废水．用椭圆型喷淋吸收塔，氧化剂、碱吸收 治理半导体工业废气中砷、磷、硫、氟、氯、氮氧化物及各种酸．经环保部门检测均达到国家排放标准． 关键词： 半导体；废水；废气；治理 中圈分类号： 州304．05 文献标识码： A A Abatement for ComprehensiveTechnology and Metals Sulfur，Fluorine，Chlorine，OxynitridesHeavy inSemiconductorWasteWaterandGases Industry WENRui．mei 200(】92，ch如) (7打耐¨∽r：r％讯r咖z A chltltand wasdescribedforcontrolof Abstract： pollution comprehensivetechnologyincludingflowsetup arsine，ph啊】110rLB， metalsand acidsin Ws．qte and Thewastewater various semiconductor Water sulfur，fluorine，chlorine，oxynitrides，heavy industry gases in the w∞treatedacombinedneutrallzation-sedimentationbasedOil of Adual setup cedepositionah∞rbing oxidantand舢IlBabsorbaIlIWfllBusedfor prineiple contailmag removing the of EnvimrtnⅢal theStateStandardof abatementconcen删oll AdufiIdstrafionmeets Emission． pollantsmudyysedby words：semiconductor；wastewater；w=astegases；．abatemertt Key l引言 备，力争治理效果好、技术先进、投资少．对从事这方面科技工