超声引线键合PZT驱动信号采集分析系统.pdfVIP

维普资讯 第27卷 第1期 焊 接 学 报 v。1．27 N。．1 2006 年 1月 TRANSACTIONSOFTHECHINA WELDING INSTITUTION January 2006 超声引线键合 PZT驱动信号采集分析系统 王福亮， 韩 雷， 钟 掘 (中南大学 机电工程学院，长沙 410083) 摘 要 ：根据超声引线键合实验平 台电路结构，设计了PZT(压电陶瓷)驱动信号采集 电路。在此基础上开发了基于LabView和Matlab的信号采集分析系统。针对 PzT驱动 电压和电流信号特征 ，提出了瞬时频率 、相差和有效值曲线的计算方法，获得了实际键 合试验过程中电流电压瞬时频率及相差变化规律。并根据有效值曲线特征，提出了分 段特征点提取方法。根据大量试验分析了分段特征点的稳定性，这对于键合机理研究 具有重要意义。试验结果表明，系统稳定可靠，能有效采集分析键合过程中的PzT驱动 信号。 关键词：超声引线键合；压电陶瓷驱动信号；信号采集和分析系统 中图分类号：TN911．6 文献标识码：A 文章编号 ：0253—360X(2006)01一O1—05 王福亮 0 序 言 1 PZT驱动信号采集分析系统硬件组成 超声引线键合是当前最重要的微电子封装技术 研究在超声引线键合实验台上展开，该实验台 之一。它是指在常温环境下，通过超声振动和劈刀 由U3000粗铝丝超声引线键合机(由深圳微讯 自动 压力的作用，将引线(金丝或铝丝)焊接(bonding)到 化设备有限公司制造)改装而成。其中，换能器系 芯片焊盘和基板引脚上，从而将芯片与基板的电路 统是实验台产生和传递超声振动的部分。 连接在一起的技术 ¨。其中，超声振动是 由PZT 1．1 换能器系统的结构 (压电陶瓷)产生，PZT将超声频率的电压驱动信号 换能器系统是超声引线键合实验台的核心部件 转换为相 同频率的机械振动(压 电逆效应)。该技 之一，如图1所示，它由PZT、变幅杆、劈刀等几部分 术的研究始于20世纪70年代末，虽然已有几十年 组成。其工作原理是，带有锁相环的超声发生电路 应用历史，但其机理却无确定说法，对超声引线键合 产生超声频率(60kHz±2kHz)的正弦电信号驱动 强度产生过程并无清晰认识 “J。一般认为超声引 PZT；PZT将电信号转换成机械振动 (压电逆效应)； 线键合过程可分为引线／焊盘接触、氧化层去除、超 振动经变幅杆和劈刀传输、放大后作用在工作界面 声软化、焊接和塑性变形、退火 (temping)等几个阶 上，在键合压力的共同作用下，将穿过劈刀的引线分 段L5J。然而各个阶段的具体划分方法，以及它们 别焊接在芯片焊盘和基板引脚上，以连接芯片和基 对键合强度的影响规律却也不清楚。在键合试验中 板的电路，实现引线键合功能。 作者发现PZT驱动信号是不断变化的，且其过程与 键合强度的形成有一定联系。本质而言，键合过程 即能量消耗过程，采集分析键合过程PZT驱动信号 PzT 夹持器 变幅杆 劈刀 金线 变化，即能量输入过程 ，不仅有助于了解键合的真实 物理过程 ，而且可直接应用于其它试验参数的时序 确定和键合工艺参数优化调控 ，对于键合机理研究 具有重要意义。文中介绍了基于LabView和Matlab 的信号采集分析系统。 收稿 日期：2004—10—25 图1 引线键合实验台换能器系统结构 基金项 目：国家自然科学基金重大资助项 目；国家重点 Fig．1 Transducersystem structureofwirebonder 基础研究发展计划资助项 目(200