定向生长碳纳米管阵列热界面材料技术的研究.pdfVIP

第 3 卷 第6期 集 成 技 术 Vol. 3 No. 6 2014年11月 JOURNAL OF INTEGRATION TECHNOLOGY Nov. 2014 定向生长碳纳米管阵列热界面材料技术研究 1 1 2 1 马梦颖 罗  斌 王亭亭 尚金堂 1 (东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室 南京 210096) 2 (海思半导体有限公司 上海 200040) 摘  要  热界面材料技术是三维系统级封装中的关键技术。文章采用新型定向生长碳纳米管阵列方法制备了热界 面材料，并研究了其导热性能。实验结果表明，通过