传感器知识第2章.ppt

式中，?l / l =ε为金属导体电阻丝的轴向应变， 常用单位?? （1?? = 1×10-6 mm/mm ）。 由于S = ? d 2 / 4，则?S / S = 2 ?d / d, 其中?d / d 为径向应变； 且由材料力学知， ?d / d = ??? ，式中?为金属材料的泊松比。 3．薄壁圆环式力传感器 4．轮辐式力传感器 特点：在外力作用下，各点的应力差别较大。 特点：刚性比较大，同时利用它的对称性，能够比较好地防止横向力的影响。 5．轴剪切力传感器（应变片式扭矩传感器） 主要用于扭矩测量，扭转轴发生如图所示扭转时，在相对于轴中心线45度方向上会产生压缩及拉伸力，从而将力加在旋转轴上。如果在扭转轴的表面贴上四个电阻应变片组成桥式电路， R1 、R3受拉应力，R2、 R4受压应力，便可检测出压缩及拉伸力，即可测出扭矩的大小。 为了给旋转的应变片输入电压和从电桥中取出检测信号，在扭转轴上安装有集流环和电刷。 电阻应变式压力传感器 1．筒式压力传感器 弹性元件为一具有盲孔的圆筒，当被测流体压力 P 作用于筒体内壁时，圆筒部分发生变形，沿圆筒周向粘贴的应变片产生正应变。 用于管道及枪（炮）管内压力测量。 2．膜片式压力传感器 一个周边固定的圆形金属膜片，在压力P 的作用下将产生弯曲变形，在膜片正应变区中心处沿切向贴两片应变片R2、R3，在负应变区边缘处沿径向贴两片应变片R1、 R4 ，接成全桥差动线路。 特点：结构简单、使用可靠。 右图为恒压源供电全桥差动直流电桥典型电路 基本应用──平面膜片式压力计 A1、A2、A3、A4为运放OP07， A1、A2 （同向放大器） 、A3 （差值放大器）组成同相输入并串联差动放大器（三运放仪器放大器），放大倍数 A4构成电压跟随器（对电位器的输出电压进行阻抗变换），通过调整正输入端电位器，从而调整A4 输出端电压，与A2 的输出相加，加到A3 同相输入端，使压力传感器压力为零时，电路输出端电压也为零，即对电路进行调零。 3．组合式压力传感器 利用几种弹性元件组合而成。 图（a）：感压元件为膜片，由压力产生的位移被传递给贴有应变片的悬臂梁； 图（b）：感压元件为波纹管，位移传给双端梁； 图（c）：感压元件为双重曲线膜片，其位移使薄壁圆筒变形，筒外壁上绕有应变丝（或贴应变片）。 电阻应变式加速度传感器 1-质量块；2-应变粱；3-硅油阻尼液；4-应变片；5-温度补偿电阻；6-绝缘套管；7-接线柱；8-电缆；9-压线板；10-壳体；11-保护块 电阻应变式加速度传感器是一种利用金属应变片或半导体应变片作为敏感元件进行加速度测量的传感器。分别可组成应变加速度计和压阻加速度计，它们体积小、重量轻、输出阻抗低，可用于飞机、轮船、机车、桥梁等振动加速度的测量。 在应变梁2的一端固定质量块1，另一端固定在壳体10上，在梁的上下 两面粘贴应变片4，梁和质量块的周围充满硅油阻尼液，用以产生必要的阻尼。测量振动时，将壳体和被测对象刚性固定在一起，因此作用在质量块上的惯性力 F＝ma使悬臂梁产生变形(应变)。应变片所构成的电桥失去平衡而输出电压。此输出电压的大小正比于外界振动加速度a。 2.2 半导体应变片及压阻式传感器 2.2.1 半导体应变片 半导体应变片是用半导体材料，采用与丝式应变片相同方法制成的。 半导体应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应。 压阻效应：材料的电阻率随作用应力而变化的现象称为该材料的压阻效应 。 所有材料在某种程度上都呈现压阻现象，但半导体材料的这种效应特别显著，能直接反映出微小的应变。 半导体压阻效应可解释为：由应变引起能带变形，从而使能带中的载流子迁移率及浓度也相应地发生相对变化，因此导致电阻率变化。 1 – 应变片 2 – 半导体敏感条 3 – 外引线 4 – 引线连接片 5 – 内引线 体形半导体应变片的结构形状 半导体应变片的制作方法 将半导体材料按所需晶向切割成片或条，粘贴在弹性元件上，制成单根状敏感栅使用，称作“体型半导体应变片”。 将P型杂质扩散到N型硅片上，形成极薄的导电P型层，焊上引线即成应变片称作“扩散硅应变片”。 优点：尺寸、横向效应和机械滞后都很小，灵敏度高，频率响应范围很宽，输出幅值大，不需要放大器，可直接与记录仪连接使用，使测量系统简单，分辨率高。 缺点：温度系数大，测量较大应变时非线性比较严重。 半导体电阻应变片的测量电路