第4章 光电式传感器.pptVIP

4.2.1 工作原理 用光电方法把被测角位移转换成以数字代码形式表示的电信号的转换部件。 1－光源 2－柱面镜 3－码盘 4－狭缝 5－元件 光电式传感器 电耦合器(CCD) 电荷耦合器件(Charge Coupled Devices，简称CCD)是一种在70年代初问世的新型半导体器件。利用CCD作为转换器件的传感器，称为CCD传感器，或称CCD图像传感器。 由于它具有光电转换、信息存储、延时和将电信号按顺序传送等功能，以及集成度高、功耗低的优点，因此被广泛地应用。 光电式传感器 四、电耦合器(CCD) CCD器件有两个特点： 一是它在半导体硅片上制有成百上千个(甚至数百万个)光敏元，它们按线阵或面阵有规则地排列。当物体通过物镜成像于半导硅平面上时。这些光敏元就产生与照在它们上面的光强成正比的光生电荷。 二是它具有自扫描能力，亦即将光敏元上产生的光生电荷依次有规则地串行输出，输出的幅值与对应的光敏元上的电荷量成正比。由于它具有集成度高、分辨率高、固体化、低功耗和自扫描能力等一系列优点。 光电式传感器 四、电耦合器(CCD) (1)电荷耦合器件原理 电耦合器件：线阵列和面阵列，基本组成MOS光敏元阵列和读出移位寄存器。 1) MOS光敏元 CCD最基本结构是一系列彼此非常靠近的相互独立的MOS电容器，它们按线阵或面阵有规则地排列，且用同一半导体衬底制成，衬底