二车间最新操作规程.docVIP

尾 气 回 收 车 间 操 作 规 程 （草案） 2011年8月 武汉东立光伏电子有限公司 操作手册（草案） 编 制： 宋世华 杨 靖 江 红 校 核: 聂军晔 审 核： 刘明江 项目审定： 陈 文 目 录 1.总工艺描述 …………………………………………….(5) 2.尾气冷凝洗涤（低压液相环路）岗位 …………………(5) 2.1. 工艺描述 2.2. 工艺指标 2.3. 低压液相环路开车程序 2.4. 低压液相环路停车操作程序 3.氢气压缩机岗位 …………………………………………(6) 3.1 工艺描述 3.2 工艺指标 3.3 氢气压缩机开车程序 3.4 氢压机备用规定 3.5 氢气压缩机停车操作程序 4.吸收和蒸馏（高压液相环路）岗位 ……………………(8) 4.1 工艺描述 4.2 工艺指标 4.3 高压液相环路开车程序 4.4 高压液相环路停车操作程序 5.碳塔吸附、再生和备用岗位 ………………………….(10) 5.1 工艺描述 5.2 工艺指标 5.3 炭塔开车程序 5.4 碳塔停车程序 5.5 以下是不同的模式和控制按钮的碳塔运行： 5.6 碳塔连锁 5.7 PCV-210635 斜坡函数 6冷热油系统岗位 …………………………………………(12) 6.1 工艺描述 6.2 工艺指标 6.3 热/冷油系统开车程序 6.4 热/冷油系统开车程序 7.冷冻系统岗位 …………………………………………..(14) 7.1 工艺描述 7.2 工艺指标 7.3 冷冻液系统开车程序 7.4 冷冻液系统停车操作程序 7.5 冷冻机操作、维护和保养 7.6 冷冻机检修期限表 7.7 换油 7.8 油精过滤器中的滤芯更换及油粗过滤器中的滤网清洗 7.9 喷液过滤器的清洗 7.10 吸气过滤网的清理 7.11 油分离器中滤芯更换 7.12 蒸发器和冷凝器内冷冻机油的回收 7.13 长期停车之保养 7.14 故障指南 8.内循环开车程序 …………………………………………(22) 9. 接收CVD反应炉尾气的程序 ………………………….(23) 10.物料物化性质 …………………………………………(23) 10.1 四氯化硅 10.2 二氯二氢硅 10.3 三氯氢硅 10.4 氢气 10.5 氯化氢（HCL） 11 屏蔽泵 ………………………………………………….(28) 11.1. 屏蔽泵的介绍 11.2．使用要求 11.3. 启动前的检查 11.4. 泵的启动 11.5. 停泵或切换泵 12车间设备一览表 …………………………………….(29) 13附件（制度） ………………………………………….(36) 1.劳动纪律管理制度（试行版） 2. 二车间安全责任制度 3. 二车间岗位责任制 4. 二车间设备维护保养制度 5. 二车间班前会制度 6. 二车间交接班制度 7. 安全注意事项 8. 润滑油管理制度 9. 工艺管理制度  1.总工艺描述 尾气回收系统收到还原炉排放的氢气、氯化氢和氯硅烷混合气，俗称尾气。经过一系列的冷凝、吸收、蒸馏、吸附过程得到纯净的氢气，高纯度氢气重新返回还原炉；吸收成的液体氯硅烷被送到氯硅烷贮槽；蒸馏出的氯化氢气体被送往合成工序。?  本车间有两个相同的氢气回收装置。本文描述的是一个系统（Ⅰ系统），另一系统（Ⅱ系统）与之类似。根据尾气流量大小确定开一套还是两套系统。 2.尾气冷凝洗涤（低压液相环路）岗位 2.1.工艺描述 还原炉来的尾气首先进入尾气冷却器（EX-101 ）被循环水冷却后进入尾气喷淋塔（T0-101 ） ，尾气喷淋塔是一种直接接触的填料塔。循环液被冷却到-40℃后进入尾气淋洗塔与尾气逆流喷洗 ，淋洗掉大多数氯硅烷化合物。淋洗掉大部分氯硅烷的混合气进入EX104管程 ，在那里被加热后（-35℃上升至25℃）进入氢气压缩机。压缩之前有一个PCV-210203压力控制调节阀调节压缩之前的低压混合气压力。 冷凝液从喷淋塔底部到洗涤泵（PP- 101A/B）加压，通过流量控制阀FIC- 210184(控制流量设计的液体流量为35 m3/h后进入（EX102 ）预冷，然后进入EX103壳程被冷却液深冷（管程）至-40℃进入T0-101上部侧面对尾气进行喷淋，如此循环。过量液体通过液位控制阀（LCV - 210110A）来调节液位 ，将过量液体输送至三车间氯硅烷储槽。T0-101补液通过LCV210110B控制。 EX103的冷冻液通过TCV31来调