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金属学与金属工艺
第 13期 周欢伟:面向快速伺服刀架的柔性铰链结构优化设计 ·119 ·
微位移也不同。通过在Ansys软件中设定不同材料实 FTS加工需求的柔性铰链的结构形式 ,在保证放大倍
际的弹性模量 、泊松 比及材料密度等物理量 ,以压电 数的情况下,消除了杠杆型柔性铰链存在的耦合现
陶瓷输出力分别为50、100、200、300、400、500N 象。在此基础上通过对材料的选择 ,根据Ansys仿真
时对应的柔性铰链微位移为如图6所示。 分析,得出不同驱动力的作用下产生的不同微位移,
从而选择出最合适的柔性铰链的材料,得出最优化的
FTS柔性铰链的结构,为下一步加工出合格的产品提
供设备保障。
参考文献:
【1】SCIREE,TEAGUEEC.Piezodriven50.umRangeStage
withSubnanometerResolution[J].ReviewofScientificIn—
tO0 200 300 400
压 电陶瓷推动力,N struments,1978,49(12):1735—1740.
【2】NISHIMURAKunitoshi.ASpring—guidedMicropositioner
图6 压电陶瓷推动力与柔性铰链微位移的关系
withLinearizedSub-nanometerResolution[J].Reviewof
根据上述数据分析出,柔性铰链的微位移随着 ScientificInstruments,1991,62(8):2004—2007.
作用力的增加,微位移不断增加,并且连接线接近 【3】宗光华,裴旭,于靖军,等.一种新型柔性直线导向机构
线性。由于材料的不同,弹性模量也有所不同,弹 及其运动精度分析 [J].光学精密工程,2008,16(4):
性模量越大 ,刚度越大,柔度越小 ,获得微位移也 630—635.
越小。不同工作情况对背吃刀量的要求不同,压电 4【】RYUJW,GUEONDae—Gab.ErrorAnalysisofaFlexure
陶瓷具有随着频率越高,行程越小 ,但 由于微结构 Hinge Mechanism Induced by Machining Imperfection
要求有一定的深度 ,对FTS需要提供一定行程的微 [J].PrecisionEngineering,1997,21(2):83—89.
【5】LUTienFu,HANDLEYDanielC,YONGYuenKuan.Posi-
位移,因此可 以利用此结构达到放大微位移 的效
tion Controlof a 3 DOF CompliantMicro—motion Stage
果 。
[C]//Proceedingsof8thInternationalConferenceonCon—
5 结束语
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