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新余学院 XingyuCollege 毕业设计（论文） （2011 届） 题 目 DSS炉的操作 学 号 0810010021 姓 名 何沅福 所 属 系 太阳能科学与工程系 专 业 材料工程技术 班 级 08材料工程班 指导教师 熊明辉老师 2011年5月28日 新余学院教务处制 目录 摘要 I 第一章 多晶硅锭的制备原理及工艺 II 1.1 多晶硅的兴起 5 1.2 硅锭的制备方法 6 1.3定向凝固法铸造多晶硅的原理 7 1.4 多晶硅铸锭工艺 8 第二章 热场 10 2.1定向凝固铸造多晶硅过程中的热传输 11 2.2多晶硅铸锭的减压工艺 12 第三章 加热器的优化 13 3.1加热方式分析 13 3.2加热器材料的分析及结构选择 14 3.2.1加热器材料选择 14 3.2.2加热器结构选择 14 第四章 隔热屏的研究 17 4、1 隔热屏材料的分析及选择 17 4、2隔热屏的结构设计 18 第五章 结论与展望 19 参考文献 20 DSS炉的操作 摘要 热场是指多晶硅铸锭炉加热系统中的温度分布，它对多晶硅晶体的生长至关重要：晶体的冷却过程、固液界面的形状、晶体中的热应力分布等都是由生长过程中晶体中的温度场和温度梯度分布所决定的，因此，本文对多晶硅铸锭炉的热场进行了重点研究。主要研究工作如下： 研究了多晶硅的制备工艺和多晶硅铸锭炉的工作原理。 研究了热场、温度梯度、固液界面对多晶硅的影响及解决方案。同时对热场中的加热器进行了优化设计，确定了加热器的材料与结构形状。提出了隔热屏的解决方案，对隔热屏的选材及结构进行了分析。 关键词：多晶硅铸锭炉；热场；温度梯度；优化设计 ABSTRACTS Thermal field refers to the temperature distribution of the heating system for the polycrystalline silicon ingot production furnace. It is vital to the growth of polycrystalline silicon crystals. The Crystal cooling process, the shape of solid-liquid interface, the thermal stress distribution of crystal and so forth are all determinated by the thermal field and temperature gradient during crystal growth process. Therefore, the thesis put the emphasis on the thermal field is study of the polycrystalline silicon ingot production furnace. The main achievements in the thesis are as follows: 1 .Preparation of the polysilicon and polysilicon ingot furnace works. 2 .The heat transfer and the decompression were studied during the directional solidification of the polycrystalline silicon ingot production furnace Optimization design was put forward for the thermal field is heater. The heater is material、the structure shape were determined. At the same time, The technical solution of the heat shield was proposed. The heat shield is material and configuration was analyzed.Configuration form