CVD金刚石薄膜涂层整体式刀具的制备与应用.pdfVIP

2011年2月 第 1期 金刚石与磨料磨具工程 Feb．2011 No．1 Vo1．30 Seria1．18l 第 30卷 总第 181期 Diamond AbrasivesEngineering 文章编号：1006—852X(2011)01—0001—05 CVD金刚石薄膜涂层整体式刀具的制备与应用 沈 彬’ 孙方宏 张志明 沈荷生 郭松寿 (1．上海交通大学机械与动力工程学院，上海 200240) (2．上海交友钻石涂层有限公司，上海 200240) 摘要 化学气相沉积(chemicalvapordeposition，CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以 及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能，这使其在硬质合金工模具领域具有广阔的应用前景。 本文采用热丝化学气相沉积法(hotfilamentchemicalvapordeposition，HFCVD)，在具有复杂形状的硬质 合金整体式铣刀表面沉积 了一层均匀、光滑的金刚石薄膜，并采用石墨 以及碳化硅铝基增强复合材料作 为工件材料对比考察了金刚石薄膜涂层铣刀和未涂层硬质合金铣刀的切削性能。铣削实验结果显示，在 硬质合金整体式铣刀表面沉积一层 CVD金刚石薄膜能够大幅提高铣刀的耐磨性，从而提高硬质铣刀的 寿命。 关键词 CVD金刚石薄膜 ；热丝 CVD法；金刚石薄膜涂层刀具；石墨；碳化硅铝基增强复合材料 中图分类号 TG74；TQ164 文献标识码 A DOI编码 10．3969／j．issn．1006—852X．2011．01．001 Fabricationand applicationofCVD diamond coated cuttingtools ShenBin SunFanghong ZhangZhiming ShenHesheng GuoSongshou (1．SchoolofMechanicalEngineering，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China) (2．ShanghaiJiaoYouDiamondCoatingCo．，Ltd，Shanghai200240，China) Abstract Chemicalvapordeposition(CVD)diamondfilmisregardedasanexcellentcoatingmaterialthatcan beappliedinavarietyofindustryfieldsowingtoitswonderfulmechanicalandtirbologiealproperties，suchas highhardness，low friction，goodwearresistanceandstablechemicalinertness．Inthisstudy，alayerofsmooth andhomogeneousdiamondfilm isdepositedonthesurfaceofWC—Comillingtoolwithcomplexshape，usinghot filamentchemicalvapordeposition (HFCVD)method．TheCuttingperformanceofas—fabricatedCVDdiamond cuttingtoolsisexaminedinmachininggraphiteandM ／SiC—MMCs，incomparisionwithuncoatedW C—Cocutting tools．Theresultsofmachiningexperimentsshow thatdepositingalayerofCV