IC硅片纳米级抛光机专家控制技术的研究.pdfVIP

维普资讯 2006年 l0月 金刚石与磨料磨具工程 October．20o6 第 155期 第5期 Diamond＆ AbrasivesEngineering Seria1．155 No．5 文章编号：1006—852X(2006)05—0090—03 IC硅片纳米级抛光机专家控制技术的研究 赵文宏 ， 文东辉 。 戴 勇 袁 巨龙 (1．浙江工业大学机械制造及 自动化教育部重点实验室，杭州 310032) (2．浙江工业大学超精密加工研究中心，杭州 310032) 摘 要 本文介绍了自行设汁的智能型纳米级抛光机的智能控制系统，对其实现方法进行了研究，分析了智能控制系统 的组成，提出并建立 基于专家控制系统的解决方案。采用WindowsCE软件平台，图形化界面功能指示，以及采用高可 靠性的实时操作系统、超级数模混合RISC嵌入式处理器、高精度光栅传感器、无级调速、无刷直流电机驱动等技术，试验 结果表明可以实现对抛光机的智能控制。 关键词 超精密抛光 ；专家控制；嵌入式处理器 中图分类号 TG58 文献标识码 A Research onspecialcontrollingtechnologyofultra—— precisionpolishingmachineforIC wafer ZhaoWenhong · WenDonghuit DaiYong’ YuanJulong’ (1．KeyLaboratoryofMechanicalManufactureandAutomation， ZhefiangUniversityofTechnology，Hangzhou310032，China) (2．Ultra—PrecisionMachiningResearchCenter，ZhejiangUnh,ersityofTechnology，Hangzhou310032，China) Abstract Theintelligentcontrollingsystem ofultra—precision polishingmachineisintroduced and itsrealizingmethod is studiedinthispaper．Atthesametime，thecomposingofintelligentcontrollingsystem isanalyzed，andthentheresolving—pro jectisprovidedbasedonthespecialcontrollingsystem．Inthecontrollingsystem，WindowsCEsoftware—fiatisadopted，andthe interfacialfunction—showing,aithgraphisprovided．Byusingsuchtechniquesasthereal—timeoperatingsystem withhighrelia bility，inbuihRISC—processor，rastersensorwithhighprecision，timingatstepless—speed，drivingwithno—brushdirectcur rentdynamo，andSOon，theintelligentcontrollingofthepolishingmachineisrealized，whichcanbeusedfornanopolishingofIC wa~rs． Keywords uhra—precisionpolishing，specialcontr