氮化铝陶瓷基片的集群磁流变效应研磨加工.pdfVIP

2012年6月 第3期 金刚石与磨料磨具工程 June，2012 第32卷 总第 189期 Diamond ＆AbrasivesEngineering No．3 Vo1．32 Seria1．189 氮化铝陶瓷基片的集群磁流变效应研磨加工 白振伟 ， 周旭光 ， 刘俊龙 ， 阎秋生 (1．深圳职业技术学院机电工程学院，广东 深圳 518055) (2．广东工业大学 机电工程学院，广东 广州510006) 摘要 采用集群磁流变效应研磨：b~_Y--方法对氮化铝 (A1N)陶瓷基片进行研磨加工 ，系统地分析 了主要工 艺参数的影响和最终经过精密研磨后的加工表面形貌特征。结果表明，集群磁流变效应研磨加工方法可 以实现对氮化铝(A1N)陶瓷基片的高效率高精度研磨h-Y--，原始表面R 1．730Ixm经过粗研 10min和精 研 30min后可以达到0．029 m，下降两个数量级。在粗研阶段，选用二氧化硅磨料#4000、磨料体积分数 12％、研磨盘转速 150r／min、研磨压力3．5kPa，可以获得较高的材料去除率和较光滑的h_v-．表面。 关键词 氮化铝(A1N)陶瓷基片；集群磁流变效应；研磨k_z-；表面粗糙度 中图分类号 TG58 文献标志码 A 文章编号：1006—852X(2012)03—0018—06 GrindingexperimentonAIN substratebyclustermagnetorheologicaieffect BAIZhen—wei’， ZHOUXu·guang ， LIUJun-long ， YANQiu·sheng (1．ShenzhenPolytechnic，Shenzhen518055，China) (2．GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou510006，China) Abstract GrindingexperimentonA1N substratebyclustermagnetorheological effect(MR—effect)was conducted，theinfluenceofthemainexperimentalparametersandthefeatureofmachinedsurfacemorphology weresystematically studied．Theresultsdemonstrated thatgrindingA1N substrateby clusterMR—effectwas feasible，andhighmaterialremovalwithgoodsurfacequalitycouldbeachieved．After10mingrindingand30 rainfinefinishing，theoriginalsurfaceroughnessR 1．7302Ixm wasreducedtoR 0．0290 txm，whichmeansa reductionbytwoordersofmagnitude．Duringthefirststagegrinding，optimalparametersincluding#4000SiO2 abrasiveatconcentration12％(volumefraction)，thegrindingdiscspeed150r／rain，andthegrindingpressure 3．5kPaweresuggestedtoobtainahighmachiningefficiencywithsmoothmachinedsurface． Keywords A1N substrate；clusterMR—effect；finishing；surfaceroughness 氮化铝(A1N)是一种综合性能优 良的新型陶瓷材 导体器件的迅速发展，对高热导率陶瓷的需求 日益增 料，具有高热导率 (理论热导率为 319W／(m