镀钛超硬材料微粉及应用.pdfVIP

维普资讯 · 6 · 《金刚石与磨料磨具X-程》 67 镀钛超硬材料微扮 及应用 066004 燕山大学材料工程学院 臧建兵 王艳耀 』王明智 — — 一 V — — — — 一 摘要 本文报道 了采 用真空微 蒸发镀覆技 术进行工业化超硬材料微粉镀覆 生产 。镀覆钛 和钛 台垒的超硬材 料 (金 刚石 、立方氮化硼 )微粉主要技术指标为 ：镀覆微粉的牡度 最细达到 5 (W5)，镀后 无颗粒 粘连 ，镀层 均 匀并 且与超硬颗粒强力冶金结合 ，镀层光 亮闪烁金属光泽。镀覆钛和钛 合垒 的超 硬材料微粉在 各粪精细超硬 工具制 造和超硬聚晶材料领域有广泛应用前景 。 ABSTRACT Ticoatedsuperhardabrasive(d~amond札m CBN)micro一9owdercanheproducedindustrlallvhyvacuut~_ slow vapordepositiontechnology．ThefinestTicoatedsuperhard abrasivemicro—powdercanbeW5，featuringstrongchemical bondbetweenthecoatingandabrasivegrain，homogeneouscoatingandnoclaster．Suchcoatedmicro—po wedrhavewideappli— at0nnedinmakingpreci~onpolishingtoolsna dpo lycr) line 。otp．ite 10 ， K捐EYW词ORI~ 垒呻 弋 I superhardba rasive micro—po wder Ticoating 金 剐石微粉广泛应用于硬质合金 、光学玻璃、特种 粉在镀液 中飘浮 ，不能进行滚镀加厚 ，微粉镀覆 易于形 陶瓷、宝石及半导体材料 的精细加工 ，是现代工业重要 成粘连 ，镀液与微粉很难分离 ，从活化 一敏化 一化学镀 的精细加工材料 ，其应用前景十分广泛 。此外 ，金刚石 一电镀 ，一系列的漂洗过程十分繁杂 ，微粉容易大量流 微粉也是制造各类聚晶金刚石的主要原料 。金刚石微 失 ，因此采用溶液镀覆方法几乎难 以生产台格 的产品， 粉用于精细加工工具 ，主要采用金属或树脂结合剂。 即使勉强镀覆，存在着成本高、废品率高、镀覆不均匀 ， 树脂结合剂金刚石微粉砂轮广泛应用于硬质 台金工具 漏镀 、严重粘连等一系列问题 。 的刃磨 ；而金属结 台剂微粉工具主要用于硬脆材料 的 普通的真空镀覆 (包括真空镀 、磁控溅射镀和离子 抛磨加工 ，如 已经广泛应用的各类光学玻璃精磨片、正 镀等 PVD方法 ，化学气相沉积 CVD方法)主要 问题在 在积极开发并且有 巨大潜在市场的石材及玻化瓷砖抛 于气态的金属粒子只能沉积到堆积 的微粉表层 ，不能 磨用的金刚石精磨和抛光工具。随着生产技术的日益