固着磨粒切割线研究进展.pdfVIP

2012年6月 第3期 金刚石与磨料磨具工程 June，2012 第 32卷 总第 189期 Diamond AbrasivesEngineering No．3 Vo1．32 Seria1．189 固着磨粒切割线研究进展 潘 慧， 黄国华， 施钰川， 黄 卓 (西安交通大学太阳能研究所 ，西安 710049) 摘要 游离磨粒线锯切割存在污染环境和切割效率低的不足，固着磨粒线锯切割具有切缝小、切片表面 质量好、切割速度快和消除工业浪费等优点成为了人们的研究热点。固着磨粒线锯和游离磨粒线锯最主 要的区别是切割线，切割线的特性直接影响硅片的切割质量及生产效率。本文阐述了固着磨粒线锯切割 的优点，总结了目前几种固着磨粒切割线的制造方法，包括：电镀、电火花、钎焊、树脂、机械碾压和挤压与 冲压等，并介绍了固着磨粒切割线的改进方法。 关键词 固着磨粒线锯；切割线；制造方法 中图分类号 TG74 文献标志码 A 文章编号：1006—852X(2012)03—0059—05 Progressoffixed abrasivecuttingwire PAN Hui， HUANG Guo—hua， SHIYu-chuan， HUANG Zhuo (SolarEnergyResearchInstituteofXi~anJiaotongUniversity，Xian710049，China) Abstract Thefreeabrasivewire saw cuttingisnotenvironment-friendlyandhaspoorprocessingefficiency． Thefixedabrasivewiresaw hassuchadvantagesas：smallkerfloss；goodslicingsurfaceintegrity；highcutting speedandreducedindustrialwaste．Sothefixedabrasivewiresawcuttingattractsmoreandmoreattention．The maindifferencebetweenthetwokindsoftechnology isthecuttingwire，which directlyimpactsthequalityof siliconcuttingandproduction efficiency．Thissummary~cusedon progressofthefixedabrasivewire saws， includingthreechiefparts：(1)Theadvantageoffixedabrasivewiresawcutting；(2)Themainmanufacturing methodsoffixedabrasivewiresaw which are：electroplatingprocess，electricaldischargemachining，brazing process，bondingwith resin agent，mechanicalembedding ofabrasive grainsintometalwiresorstamping process；(3)Theimprovementsoffixedabrasivewiresaw． Keywords fixedabrasivewiresaw；cuttingwire；manufacturingmethods 随着光伏行业 的发展，硅片的需求量越来越大， 有下列缺点：砂浆 (磨粒和切割液组成)不能充分利 同时对硅片厚度、直径和表面质量有更高 的要求 。 用，造成工业浪 费，切割效率低，成本 高，污染环 硅片切割在硅片制造成本 中占据很大比例… ，降低 境 ，4J。固着磨粒线锯切割是 “两体磨削”加工的过 硅片切割成本对于降低硅片的成本具有重要意义。 程 ，通过刮擦晶体硅的方式完成切割 J，切割时采用 多线切割机简称线锯，用来