化学机械抛光中抛光垫修整的作用及规律研究.pdfVIP

维普资讯 2007年 10月 0ct．2007 总第 161期 第5期 ，金刚石与磨料磨具工程 Diamond＆ AbrasivesEngineering Seria1．161 No．5 文章编号 ：1006—852X(2007)05—0058—06 化学机械抛光中抛光垫修整的作用及规律研究 胡 伟 魏 昕 谢小柱 黄 平 (1．广东工业大学机电工程学院，广州510006) (2．76321部队，广州 510500) 摘 要 抛光垫修整是化学机械抛光的重要过程之一。修整后抛光垫的性能主要由修整器的性能和相关的工艺参数决 定。本文介绍常用金刚石修整器的颗粒性能、胎体材料及相关工艺参数 ，总结金刚石修整器在不同条件下对修整性能的 影响规律，发现：金刚石颗粒的类型影响修整效率，RAS越大，修整效率越高；颗粒尺寸的增大有利于提高修整效率 ；粘结 力的增大 ，可以提高修整效率和使用寿命 ；颗粒的均匀排列有助于抛光垫表面沟槽的形成 ；使用陶瓷作为胎体材料 ，可以 提高使用寿命 ；修整压力及转速的增大 ，可以提高修整效率 ；修整温度会对抛光垫的沟槽、微孔及硬度产生影响，温度的 升高，可以改善修整质量；修整密度越大，抛光垫的磨损率越高。最后对金刚石修整器的发展趋势做出展望。 关键词 化学机械抛光 ；抛光垫；修整；金刚石颗粒 中图分类号 TQ164 文献标识码 A Investigationoffunctionsandeffectsofpolishingpadconditioning inchemicalmechanicalpolishing HuWei WeiXin XieXiaozhu HuangPing (1．FacultyofElectromechanicalEngineeringofGuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou510006，China) (2．76321ArmedForces，儿4ofChinaGuangzhou510500，China) Abstract Polishingpadconditioningisveryimportantforchemicalmechanicalpolishing(CMP)toimprovetheperformancesof apad．Theperfomr ancesoftheconditionedpadaredetemr inedbythepropertiesofhteconditionerandconditioningparameters． Thispaperintroducesthepropertiesofdiamondcrystal，thematerialofsubstratenadconditioningpraametersandsummarizesthe effectsofthediamond conditionersonconditioningperfomr ances．Itisofund htatthetypeofdima ondcrystalaffectspolishing efficiency．Thepolishingefficiencyincreaseswiththeincreaseofthedimensionandbondingstrengthofdiamondcrystals．Grid— typedima ond