环形金刚石线锯加工参数优化.pdfVIP

2008年 1O月 金刚石与磨料磨具工程 Oct．20o8 第5期 总第 167期 Diamond ＆AbrasivesEngineering No．5 Seria1．167 文章编号：1006—852X(2008)05—0035—04 环形金刚石线锯加工参数优化 孟剑峰 孟 磊 韩云鹏’ (1．山东大学机械工程学院 ，济南250061) (2．济南技术学院，济南250031) 摘 要 本文建立了环形金刚石线锯加工的振动方程 ，研究在锯切力作用下锯丝的随机振动，得出张紧 力、锯丝速度对锯丝振动的影响规律。分析 了锯丝加工时的受力，根据锯丝的强度 ，得 出锯丝不被拉断 时最大可承受的拉力。综合考虑锯丝的振动分析、锯丝强度和锯切力，优化了加工工艺参数。对于本实 验应用的环形金刚石线锯 ，当加工碳化硅和硅晶体时，锯丝的最大张紧力为36N，恒进给压力小于7N， 最大锯切速度为27m／s。由于机床精度的限制，实际试验 中最高锯切速度为16m／s。 关键词 参数优化；环形金刚石线锯 ；脆性材料 中图分类号 TG74：TQ164 文献标识码 A Cuttingparameteroptimization ofdiamondendlesswiresaw MengJianfeng MengLei HanYunpeng (1．ShandongUniversity，Jinan250061，China) (2．finanTechnicalColleage，Jinan250031，China) Abstract Inthispaper，thevibrationequationofwiresaw cuttingwasbuiltup．Andtherandom vibrationof wiresaw was studied firstly，the influenceoftension and cutting speed on vibration ofwire saw was investigated．Theforcesonwiresaw wereresearched．Dependingonthestrength ofwiresaw，themaximum tensionofwiresaw wasgiven．Accordingtotheanalysesofvibrationandstrengthofthewiresaw andcutting force，thecuttingparameterswereoptimized．Forthewiresaw usedinthisexperiment，andassinglecrystal siliconandSiC arecut，themxaimum pretensionis36N，thefeedforceislessthan7N，andhighestcutting speedis27m／s．Butbecauseoftherestrictionofmachineprecision，thehighestcuttingspeedis16nr,s． Keywords parameteroptimization；endlessdiamondwiresaw；brittlematerials 。前言 磊篇 莩 随着半导体工业 的快速发展，碳化硅和硅 晶体的 在锯切力作用下的随机振动、锯丝在加工过程中的受 使用越来越广泛。为了解决大尺寸、高硬度的脆性材 力、锯丝强度。在上述研究的基础上，对环形金刚石线 料的加工问题，环形金刚石线锯这一新技术得到了应