甲烷浓度对金刚石薄膜织构的影响.pdfVIP

维普资讯 2005年4月 金刚石与磨料磨具工程 Apr．2005 第 146期 第2期 Diamond AbrasivesEngineering seria1．146 No．2 文章编号：1006—852X(2005)02—0021—04 甲烷浓度对金刚石薄膜织构的影响 陈志红 ，余志明 (1．中南大学材料科学与工程学院，长沙 ，许向阳 ，刘王平 410083；2．长沙矿冶研究院，长沙 410012) 摘 要 采用热丝化学气相沉积法，以甲烷和氢气为反应气体，在硬质合金YG6基体上沉积了金刚石薄膜。研究了不 同的甲烷浓度对金刚石织构变化趋势的影响。分别采用扫描电子显微镜 (SEM)、X射线衍射仪(XRD)对金刚石膜的表 面形貌、织构形成进行了分析。结果表明：当基体温度为760~C，沉积气压为4×10Pa，甲烷浓度从 1％到5％，都形成了 (110)织构。但是，当甲烷浓度为3．3％时，有(100)织构。 关键词 热丝化学气相沉积；硬质合金；金刚石薄膜：织构 中图分类号 TB43 文献标识码 A — EffectofMethaneConcentrationonDiamondFihnTexture ChenZhihong ，YuZhiming ，XuXiangyang ，LiuW angping (1、InstituteofMaterialsScienceandEngineering，CentralSouthUniversityChangsha，Changsha410083，China) 2．ChangshaResearchInstituteofMiningand Metallurgy，Changsha410012，hC ina) Abstract DiamondfilmsWassynthesizedonacementedcarbide(YG6)substrateusingthegaseousmixturesofmethaneandhy— drogenbyhotfilamentchemicalvapordeposition(HFCVD)．Thetendencyofdiamondtexturechangewasstudiedonthecondi· tionofvariousmethaneconcentration．Thesurfacemorphologyandtextureofsampleswerecharacterizedbyscanningelectronmi— croscopy(SEM)andX—raydiffractometer(XRD)methodrespectively．Theexperimentalresultsshowthatwhenthesubstrate temperatureis760~C，depositionpressureis4×10Paandthemethaneconcentrationisfrom 1％ to5％，diamond(110)tex— tureisformed．But，whenthemethaneconcentrationis3．3％，(100)texturediamondfilmisdeposited． Keywords hotfilamentCVD；cementedcarbide；diamondfilm；texture 近年来，由于金刚石的一系列优异的物理、化学性 和开发高质量的金刚石涂层硬质合金产品，对提高我