金刚石薄膜涂层刀具及其切削性能的实验研究.pdfVIP

维普资讯 切 削性 能 的实验研究 丁 1l 110015 沈阳工业学院机械工程系 哈尔滨工业大学 !苎 摘要 用燃焰法进行了金咧石薄联潦层刀具的沉积实验·研究了刀具基体材料对金剐石 薄膜彤成的影响．通过对SiC颗粒增强铝复合材料的切削实验，研究了以金属W 为基体的金 刚石薄膜潦层刀具的切 主题词 燃焰法 ● _ - _ _ _ ●一 SiC颗粒增强铝 全堑苎 叶 f l 前育 自八十年代初化l学 技术取得突破性进展 以来，金刚石薄膜的应 用研究受到了国内外众多研究者的重视，并 取得了很大成就 “j。作为一种具有高耐磨 性的新型刀具涂层材料，金刚石薄膜可 以在 不重磨刀片、钻头和指形铣刀等具有复杂型 面的刀具上涂层，拓宽了金刚石刀具的应用 范围，而且与聚晶金剐石复合刀片相 比成本 较低．在非铁类材料和非铁类难加工材料的 切削加工中被寄预很高的期望。 黄树涛●』一一一，俊袁哲／ 目前国外制备金刚石薄膜涂层刀具所采 用的方法主要有微波等离子体CVD法和热 灯丝 CVD法 ，但这两种方法的沉积速率 太低。燃 焰法 是 1988年 由 日本 工 表 1 实验条件 业大学广濑洋一教 授发明的3【]，虽然 一 般的燃焰法沉积金剐石薄膜面积较小，但 2．2 刀具基体材料对金刚石薄膜形成的影 它具有设备简单，不需真空反应室．生长速率 响 高，有利于在复杂型面上沉积等特点，可以认 金刚石薄膜涂层刀具的基体材料应满足 为在刀具涂层中是一种合适的方法。 涂层工艺、切削加工、金刚石生长和附着强度 本文用燃焰法在不同材料的刀具基体上 等要求。首先，由于化学气相沉积金刚石薄 进行了金剐石薄膜涂层实验，并用制备的金 膜所 需 基 板 温度 较 高 (一般 为 600～ 刚石薄膜涂层刀具和未涂层的硬质合金刀具 i000℃)，所 以要求刀具基体应具有耐高温 性，其次，刀具基体必须有适应切削加工所要 切削SiC颗粒增强韬复合材料，对两者的切 求的耐冲击性；第三，要求刀具基体材料便于 削性能作了对比实验。 金刚石的形成且具有较高的附着强度。 在现有刀具材料中，用化学气相沉积法 *国家 自然科学基金资助项 目 维普资讯 金《刚石与磨料磨具工程》 可 以在除高速钢之外的所有刀具材料上沉积 金刚石薄膜 0，但是，TiC、TiN、AI=O3由于与 金剐石的热膨胀系数相差较大 在沉积金刚 石薄膜之后，基板从高温降为室温时，金刚石 薄膜中将产生较大的压应力，从而使附着强 度显著降低。甚至在合成时和成膜后使金刚 石薄膜从基板上 自动剥落_5J Si：}N 由于其 热膨胀系数与金剐石最为接近，金刚石薄膜 在其上的附着强度较高，而YG类硬质台金 由于粘结剂Co将促使金刚石薄膜与刀具基 体之间产生石墨L6使附着强度显著降低，所 以必须采取一定的措施以消除Co的影响。 本文以s3N4、YG6硬质合金和金属w 为刀具基体进行了金刚石薄膜涂层实验。实 图2 以YG6为基体的金剐石薄膜涂层刀 验结果表明，用燃焰法在 sN 陶瓷刀片上 具 的局部剥落 沉积金刚石薄膜时。在