石墨生长金刚石的方法.pdfVIP

维普资讯 )2竹 ． 32． 金《刚石与摩 奄具工程》 遏 ， ’l乃 石墨生长金刚石的方法 ： ≥ ／【＆Ij ．， 、 ’ ／ 1圣 目前，生产人造金刚石的方法有许多 ，最 的实施技术非常接近本发 。方法是 ：用 电 。 ． 常用的方法是碳和金属在高温下合成。人们 流脉冲加热石墨的同时还使其承受高压。在 对这种方法不太感兴趣 ，因为它的生长速 度 加热温度达到5000K时，保压一直到 20GPa。 慢，不超过约 10～cm／s，而且合成的金刚石晶 上述方法的具体操作是用一个高 3ram，直径 体中含有金属杂质。 2rrma的圆柱体石墨合成金 刚石。在 lO～ 以前有一种方法近似上述：以碳的非结 20GPa压力和 3000～4OOO。K温度下使 电流通 晶形式通过冷凝状态下碳氢化合物的热解来 过这个圆柱体。由于原料加热不均匀，用这 合成金刚石。尽管此法没有金属杂质，但其 种方法仅得到暗色金刚石聚晶。 合成中生长速度仍和上述方法一样慢。 本发明的目的是提出一种能去除上述方 另外一种方法是用气相外延法生长金刚 法缺点，制造出大颗粒透明的金刚石。在 由 石。这种方法是通过热解含氢气体混合物的 石墨逐渐生长金刚石的方法中，使石墨承受 碳氢化合物来生长碳元素。这种方法的生长 高压，加热到预定温度 ，冷却后再重复这些操 速度慢，得到的金刚石膜质量低于单晶膜。 作 ，操作步骤如下： 在合成工业金 刚石的时候 ，用含量 8％ ——置石墨于高压腔，在金刚石生长的 (重量)的铜 ／石墨混合物 ，其中75％转化为金 整个过程中高压腔内保持压力 ； 刚石粉 。按此方法得到的金刚石聚晶尺寸在 ——置石墨于周期脉冲激光照射下使石 01～60；ma之 间+组成 的聚晶颗粒平均尺寸 墨表层吸收激光照射的脉冲 ，这样引起石墨 约 10nm。还有可能通过冲击处理获得合成 表层区加热，一直达到石墨到金刚石相 的转 金刚石 ：使石墨在石墨和浓缩惰性气 体 (N． 化温度； He．Ar)混合物中受到冲击压力。紧接着排 ——冷却如此得到的金刚石层 ； 出由绝热卸压快速冷却的惰气中的热量来快 ——冷却后再用所述射线脉冲重复加热 速冷却固相 。按这种方法，金刚石的产量与 石墨的连续层 ，一直到完成从石墨到金月4石 使用石墨和金属馄合物方法的产量基本相 的完全转化。 同。用这两种方法生产 的金刚石颗粒很小 ， 用这种方式实施本发明，高压腔内的压 不超过 100微米，一般情况下不透明。