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维普资讯 钽件专用离子渗氮设备研制 曾卫军 ，张德元 ，陈智琴 ，周 拮 ，付青峰 (1．江西省科学院应用物理研究所，江西 南昌 330029； 2．国家863计划材料表面工程技术研究开发中心，广东 深圳 518029) 摘要：针对精密钽制零件表面渗氮的特殊要求，通过炉内阴极面积可调的结构设计，研制了温度可达85012，压升 率低于0．0045Pa／min的钽专用离子渗氮炉。将阴极分成若干独立部分，单独将某些部分接人负偏压用作辅助 阴极，也可将其中某些部分接人零电位用作辅助阳极，也可保持悬浮电位，只用作隔热屏，将等离子体参数和温 度、阴极电流和电压施行独立调控。通过工艺试验，成功地实现了精密钽件的离子渗氮，获得了高硬度、低粗糙度 的渗氮层。 关键词：钽件；离子渗氮；设备 中图分类号：TG156．8 文献标识码：A 文章编号 ：0254．6051(2004)03．0048．03