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- 2015-08-10 发布于江西
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模具工业
模具工业 2011年第37卷第2期
外力影响产生变形而使薄膜剥离。但一般钢铁材料,氨化处理后其表面生成化合物层 (三相 /Fe ),此化合
物硬且脆弱,在其上涂覆硬质薄膜难以发挥复合硬化处理的效果,必须将此化合物磨去再进行PCD、等离子
CVD处理,要增加研磨工序,影响生产成本和交货期。为此,日本电子工业株式会社开发了精细氮化或过激
氮化等不形成化合物层的光亮氮化和硬质薄膜复合硬化处理方法,再加上直流等离子CVD法形成DI_C.SI
膜,研发出了称之为 卜)c涂膜技术的新的DI.C涂膜技术。NIK)C涂膜是将等离子光亮氮化和DI.~SI膜复
合硬化处理放在同一炉内连续处理而生成的,交货期、成本、耐久性等问题都可解决,因而在冲模上广为采
用。过激氮化是一种新的等离子氮化法,是将氨和氢的混合气体作为保护气体,利用直流辉光放电生成的高
的过激 (活性化)进行氨化。这种氮化对模具表面粗糙度不产生影响,没有化合物层的氮化组织,因而氨化后
不需要对模具表面进行研磨加工,即可进行PVD或等离子CVD硬质薄膜成膜处理。 O 涂膜的成膜温度
300~600℃,比一般DLC工艺成膜温度稍高,表面硬度2000--2500H 膜厚3~5-/tm,最厚可到 10‰摩擦
因数与Tdq膜、CAq膜的0.50~0.55相比,仅为0.05,非常低。 涂膜不仅可提高模
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