发展新一代亚50纳米集成电路制造技术为实现微电子强国奠定基础.pdfVIP

2006年集成电路国际研讨会 发展新一代亚50纳米集成电路制造技术 为实现微电子强国奠定基础 张兴，刘晓彦，黄如，丁伟 (北京大学微电子学研究院) 摘要： 本文分析了亚50纳米集成电路技术的发展趋势，存在的科学问题，介绍我们承担 的了国家973项目“系统芯片中新器件新工艺基础研究”取得的部分研究成果，提出了只有 针对亚50纳米集成电路中存在的基础科学问题进行系统深入的研究，才可能使我们能够在下 一代亚50纳米尺度的集成电路领域掌握系列专利技术和拥有自主的知识产权，实现后来居 上。 关键词：集成电路；亚50纳米；新器件；新工艺 1 引言 年发明集成电路(IC)以来，一直以十分惊人的摩尔先生预测的指数规律速度发展，作为人 类社会历史上发展最快的技术之一，它已经成为整个信息科学技术和产业发展的基石。 我国IC产业在经历了自力更生、艰苦创业和对外开放、探索前进等阶段之后，从上个世 纪末期开始进入了超常规的快速发展时期。根据信息产业部的统计，自1999年到2005年的 6年间，我国在微电子领域的投入高达1999年以前数十年总投入的5倍还要多。最近几年我 国微电子产业的