氟碳直接合成高纯四氟化碳工艺技术.pdfVIP

氟碳直接合成高纯四氟化碳的工艺技术 唐忠福 肖 三 桂思祥 马建修 夏致远 佛山市华特气体有限公司，广东佛山528241 摘要：随着半导体产业的迅猛发展，高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而，生产高纯CF4的技术报道 较少，限制了微电子产业的发展进程。综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术，并作出了展望，同 时对产品纯化所涉及的碱洗、低温精馏、吸附等方法进行了概述。根据本公司现行的生产工艺，生产的高纯 CF4质量好成本低，可以满足国内市场的需要。 关键词：四氟化碳;合成;吸附；精馏 Abstract:Withtherapiddevelopmentofthesemiconductorindustry,highpuritycarbontetrefluoride(CF4)would bedemandedincreasingly.However,thetechnologyoftheproductionofhighpurityCF4wasreportedlessly,which restrictesthedevelopmentofthemicroelectronicindustryprocess.Therefore,thispapersumm