(全文)纳米测量仪器与纳米加工技术.pdfVIP

2003 年 1 月 中国工程科学 J an . 2003 第 5 卷第 1 期 Engineering Science Vol 5 No 1 院 士 论 坛 纳米测量仪器和纳米加工技术 姚骏恩 ( 中国科学院北京科学仪器研制中心 , 北京 　100080) [摘要] 　纳米科技是当今国际上的一个热点 。文章对纳米科技作了简要介绍 , 纳米测量和加工是纳米科技中 的一个不可缺少的重要组成部分 。叙述了发展纳米测量和纳米加工技术的两个主要途径 : 一是发展传统技术 , 主要是电子显微术以及最近发展起来的聚焦离子束 ( F IB) - 电子束数控加工中心 ; 二是创造新的测量仪器 , 建立新原理和新方法 , 介绍了国内外电子显微镜和扫描探针显微镜这两类纳米测量分析仪器的发展 、应用和生 产现状 。指出我国电子显微仪器和扫描探针显微镜的开发和生产面临困境 , 应尽快建立和加强 自己的电子显微 仪器和扫描探针显微镜等纳米测量和纳米加工设备制造产业 , 并列入国家科技发展规划 。 纳米科技 ; 纳米测量 ; 电子显微镜 ; 扫描探针显微镜 ; 聚焦离子束 - 电子束装置 ; 仪器生产 [ 关键词] 　 [ 中图分类号] TN16 ; TN405 ; TB838 　 [文献标识码] A 　 [文章编号] 1009 - 1742 (2003) 01 - 0033 - 05 1 　纳米科技是当今国际上的一个热点 2 　当今高技术的核心乃是半导体芯片 纳米科技是 20 世纪 80 年代发展起来的一门新 技术 兴科学技术 。一个纳米是十亿分之一米 , 已接近原 　　当今高技术的核心乃是半导体芯片技术 , 发展 子尺度 ( 02 ～03 nm) 。纳米科技涉及的尺度通 的关键是进一步微型化 。元件的尺寸由毫米到微米 常是 100 nm 以下 , 直到原子尺寸 。在这种尺度上 仍可用传统的科学和技术 ; 从微米到纳米功能元 对物质和材料进行研究和处理的科学技术称为纳米 件 , 尺寸缩小到纳米级 , 即由有限个原子构成基本 科技 。纳米科技实质上就是一种从原子 、分子开始 功能元件 , 再由这类新元件组成更复杂的器件 , 表 制造材料和产品的科学技术 ; 也可 以说是在 1～ 征这种纳米功能元件的参量具有显著的量子效应和 100 nm 范围内认识和改造 自然的科学技术 , 是一 统计涨落特性 , 就必须发展新理论 、新技术和新材 个交叉综合学科 , 是一个前沿基础学科和高技术融 料 。于是纳米电子学就应运而生 。芯片的集成度以 为一体的完整体系 。钱学森早在 199 1 年就指出 , 每 18 个月硅片上功能元件数增加 1 倍的速度增加 。 纳米左右和纳米以下的结构将是下一阶段科技发展 元件的尺寸越小 , 芯片的功能越强 。商用芯片的线 μ 的一个重点 , 会是一次技术革命 , 从而将是 2 1 世 宽在 200 1 年达到 013～010 m , 现已开始 010 μ 纪又一次产业革命 。目前所有的发达国家都对纳米 m 的竞争 , 估计 2004 年大部分半导体制造企业