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第 33 卷第 1 期 江 苏 冶 金 Vol . 33 　No . 1 2005 年 2 月 J iang su Met allur gy Feb . 2005 原子力显微镜( AFM) 在材料性能分析中的应用 施春陵　蒋建清 (东南大学材料科学与工程系 　南京 ,2 10096) ( ) 摘要 :介绍了原子力显微镜 A FM 的工作原理 ,及其在材料微观表面形貌与性能分析 、检测等方面的应用现状 ;指 出 A FM 具有超高二维分辨 、显微镜倍率连续可调等特点 ,利用其对材料表面进行实时扫描成象 ,可准确获得被测 表面的二维图象信息 ,是现代微材料研究领域的重要工具 ,应用前景十分广阔。 关键词 :原子力显微镜 ;微观形貌 ;性能分析 中图分类号 : T H742 . 7 敏元件 ; ( 2 ) 力敏元件位移或变形 的监测装置 ; 引　言 (3) 电子反馈 电路 ; ( 4 ) 压 电陶瓷扫描探制器 ; (5) 图像处理和显示系统 。其示意图参见图 1 。由 1982 年 ,IBM 公司苏黎世实验室的 GBinning 和 图 1 可知 ,将探针装置在一个对于微弱力作用非常 ( HRohrer 发明了世界上第一台扫描隧道显微镜 简称 STM) [ 1] 。利用 STM ,人类有史以来第一次在实空间 观察到了原子的晶格结构图像 ,为人类认识超微观世 界的奥秘提供了有力的观察和研究工具 。扫描隧道 显微镜以它优异的功能激起各国学者的极大关注 ,在 它出现后的几年中,已经在物理学、高分子化学、材料 科学、光电子学、生命科学和微电子技术等领域中得 到广泛应用 。与此同时 ,扫描探针显微技术也得到了 蓬勃发展 ,相继诞生了一系列在主要结构和工作方式 上与 STM 相类似的显微仪器 ,例如 ,原子力显微镜 图 1 　原子力显微镜示意图 ( ) ( ) 英文全称 简称 A FM ,激光力显微镜 L FM ,磁力显 敏感的微悬臂上 ,并使探针的针尖与试样表面原子 ( ) 微镜 MFM 等仪器技术 ,形成了一个扫描探针显微 [2 ] 轻微地接触 。通过压电陶瓷控制试样或探针在 X 、 ( ) 镜 SPM 家族 。 Y 方向扫描运动 ,使探针在试样表面上的相对位置 A FM 是 SPM 家族中应用领域最为广泛的表面 改变 。当针尖与样品之间的距离逼近到一定程度 观察与研究工具之一 。由于其不仅能从原子尺度上 时 ,两者之间产生相互作用的原子力 ,其中切向力 对导体、半导体表面进行成像 ,而且能获得诸如玻璃 、 ( ) ( ) 摩擦力 Ft 使微悬臂扭曲,法向 纵向 力 Fn 将推 陶瓷等非导电体材料的表面结构