RF+MEMS开关及其在移相器中的应用的研究.pdf

RF MEMS开关及其在移相器中的应用研究 摘要 射频微电子机械系统(RF MEMS)技术在现代通信领域中越来越受到重视。 MEMS技术以其自身特性，可以避免传统PIN开关和场效应开关在射频系统中 的严重缺陷，和现代高密集型系统的设计相匹配，具有功耗小、射频性能优越、 易集成等优点。因此研究RFMEMS开关及其应用有非常重要的现实意义。 本文首先简要地介绍了国内外RFMEMS开关、MEMS移相器的发展概况。 接着详细地比较了MEMS开关各种常见的静电、电磁、电热、压电和形状记忆 金属驱动机制。建立了欧姆接触式和电容耦合式RFMEMS开关的力学模型和 电磁模型，其中包括悬臂梁和固支梁开关的弹性系数、下拉电压、电容和阻抗。 MEMS开关搭建一个准 通过模型优化开关设计，并用设计好的电容耦合式RF 4位分布式MEMS传输线移相器。此分布式移相器可以工作在40GHz频段内， MEMS 其中RFMEMS开关的驱动电压大约在20伏左右。移相器由15个RF 开关周期性地加载在一段共面波导上而实现，可实现的步进为23．950。移相器 单位长度为144um，共面波导采用高阻硅衬底，氮化硅介质层，并在高阻硅衬 底表面氧化了一层0．8um厚的氧化物。采用ANSYS软件模拟了开关的力学变 形效果，用HFSS软件仿真了开关的S参数，从模拟结果可见，此设计可以满 足移相器设计需要。 关键词：RFMEMS开关移相器欧姆接触电容耦合 RFMEMSSwitchandThe Researchin Application PhaseShifter ABSTRACT Radio Micro-Electro-Mechanicalmoreand Frequency System(RFMEMS)has moreattentioninthefieldofmoderncommunication．Thankstotheirown MEMScanavoidsomeserious which characteristics，RF disadvantageusuraly inPINandMOSFETswitches．Alsoitcanmatchto appears high-intensivesystem， with some low RF advantageincludingpower，good RFMEMSswitchesandtheir andSOon．Soitis toresearch integration important application． MEMS Firstthe introducesthe ofRFMEMSswitchand paperbriefly development shiffterathomeandabroad．Thensomeusural mechanism phase compare