SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的热力学.pdfVIP

第21卷第 l2期 中国有色金属学报 2011年 12月 Vo1．21No．12 TheChineseJournalofNonferrousM etals Dec．2Ol1 文章编号：1004．0609(20t1)123202．09 SiCI4氢化转化为SiHCI3过程的热力学 侯彦青 ，谢 刚 ，陶东平 ，俞小花 ，李荣兴 ’，宋东明 (1．昆明理工大学 冶金与能源工程学院，昆明 650093 2．云南冶金集团总公司 技术中心，昆明650031； 3．昆明冶研新材料股份有限公司，昆明 650031) 摘 要：应用有关热力学数据研究了与多晶硅主要生产工艺即西门子法相关的 “Si—c1．H”三元系的复杂化学反应， 研究SiC14氢化转化为SiHCI3过程中可能发生的15个反应，给出 15个反应的△G 一 图；并确定5个独立的反 应，给出这5个独立反应的 一 图；高温时主反应(1)的 增长较慢，而反应(2)和(5)的 快速增大，1373K 时，主反应(1)的 较小，为0．1571。进一步研究温度、压强和进料配比，? ／n 对 SiC14氢化率的影响，并绘 制出SiC14氢化率随这些因素的变化曲线。结果表明：当压强和进料配比一定时，SiC1的氢化率随温度的升高先 增加后降低；增大压强或增加进料配比 ／ 都会提高SiC14的氢化率；SiC14氢化转化为SiHC13过程的最佳操 作条件为温度为 1000℃，压强为O_3MPa，进料配比 ／ ．为4，在此条件下，SiCI4的氢化率为25．78％。 关键词：SiC1；SiHCI；热力学；转化 中图分类号：0642．4；O613．72 文献标志码：A Thermodynamicsoftransformationprocessfrom SiChtoSiHCI3 HOU Yan-qing’XIEGang，，TAO Dong．ping，YU Xiao．hua，LIRong．xing，SONG Dong．ming， ， (1．FacultyofMetallurgicalandEnergyEngineering，KunmingUniversityofScienceandTechnology， Kunming650093，China； 2．TechnologyCenter，YunnanMetallurgyGroupCo．，Kunming650031，China； 3．KunmingYeyanNew-MaterialCo．，Ltd．，Kunming650031，China) Abstract：Basedonthethermodynamicdatafortherelatedpuresubstances，fifteenpossiblechemicalreactionsinthe SIC14hydrogenationsystem ofSiemensprocessthatisoneofthemainprocessforthepolysiliconproductionwerestudied． The △G cRrvesofthe fifteen chemicalreactionsinthe system versustemperaturewerefittedbytheassistantof computer．Thevaluesof △G ofrmostreactionsaregreaterthanzeroattherangeof973K to 1773K．Thatistosay