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反射率测量技术研究的进展.pdf

维普资讯 第 28卷 第5期 激 光 技 术 Vo1.28,No.5 2004年 1O月 IASERTECHNOLOGY October,2004 文章编号:1001-3806(2004)05·0459-40 反射率测量技术研究的进展 易亨瑜 ,吕百达 (1.四川大学 激光物理与化学研究所,成都 610064;2.中国工程物理研究院 应用电子学研究所,绵阳621900) 摘要:阐述了反射率测量中的几种典型方法,并根据测量原理将它们分成了两大类。一类是根据检测光束在 待测样品上的反射次数的(单)多次反射法;另一类是基于谐振腔特性的测量方法。以相对误差或测量精度作为设 计的评价标准,论述和分析了各种技术的测量原理及其优缺点,介绍了国内外反射率测量技术的发展现状及其 目 前的技术水平。对测量技术的发展方向进行了剖析,提出一些影响测量精度的问题。 关键词:反射率;单次反射法;二次反射法;多次反射法;多程室;光延迟线;精细度;损耗 中图分类号 :TN247 文献标识码:A Theadvanceoftechniquesofreflectivitymeasurement Y/Heng—yu .LiiBai-dai (1.InstituteofIJ&serPhysics&Chemistry,SichuanUniversity,Chengdu610064,China;2.InstituteofAppHedElectronic, CAEP,Mianyang621900,China) Abstract:Thedevelopmentoftechniquesof reflcetivity measurements isreviewed and analyzed.Based on the measurementprinciples,htetcehniquescallbe divided into two types.One issingle-reflcetna ce,double—reflcetancena d multi—reflcetnaceonthesample.Theohterisohtermeasurementbasedonresonator’Scharacteristics,suchas opticalcaviyt dceaytime,caviyt ring-downspec~escopy,spherical cavityoptical delaylines,htefinenessof hteresonator,nadhteloss comparebewteen wtoactiveresonators.Th eiradvna tagesna ddisadvantages,in particular,hteirmeasurementerror8are discussde .Somecurrenthotspotsnadfuturedircetionsarenaalyzde . Keywords:reflcetiviyt;sin~e—reflcetance;double-reflcetnace;multi-reflcetnace;multiple—passcell;optical delay lines;fineness;loss 衰荡特性。本文中在误差分析的基础上 ,论述和分 引 言 析了各种测量技术的原理及其优缺点,介绍 了国内 反射率测量技术是计量领域中的一个重要研究 外反射率测量技术的发展现状及其 目前技术水平。 方向,它

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