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坐标测量技术半世纪的演变与趋势 坐标测量技术是衡量精密制造和测量水平的重要标志。美、德、日等工业发达国家都曾投入大量人力物力发展坐标测量技术，产生了如 Hexagon、Zeiss、Mitutoyo等全球知名品牌。直至目前，中小型坐标测量技术已成熟，大型和微型坐标测量技术发展迅速，智能坐标 测量技术则成为研究热点。 　回顾：十大标志性事件 　　 　　第一台坐标测量机 　　 　　1959年，法国巴黎国际机床博览会上，苏格兰Ferranti公司展出了第一台坐标测量机。该测量机为直角坐标测量机，在x轴和y轴上 设置了2个可移动的导轨和读数装置，并在z向上放置位移传感器，测量精度为0.001inch。自此，坐标测量机将测量技术革命性地从传统 的比较式测量模式带入空间点坐标测量模式。 　　 　　第一台激光跟踪仪 　　 　　1968年，美国Sandia国家实验室研制了激光跟踪仪。激光跟踪仪基于球坐标测量原理进行坐标测量，跟踪镜发出的激光在安置于目 标点的反射镜上发生反射，回到跟踪镜，当目标移动时，跟踪镜调整光束方向来对准反射镜；返回光束为检测系统所接收，用来测算目 标的空间位置。激光跟踪仪量程为几十米甚至上百米，分辨率为微米或亚微米级。 　　 　　第一个触发式测头 　　 　　1972年，DavidMcMurtry发明了触发式测头。其原理是，当测球和被测工件接触时，电开关发出脉冲信号，仪器定位系统锁存测球 球心坐标值。触发式测头的出现使测量从依靠人工读数转入了借助工具读数，提高了探测的重复性和精度。 　　 　　第一台CNC控制的坐标测量机 　　 　　1973年，德国Zeiss公司推出了第一台计算器数字控制（CNC）的三坐标测量机UMM500（如右图）。该测量机采用HP9810计算器 ，并配置了接触式扫描测头，三轴测量精度达到0.5μm。CNC数控系统提高了坐标测量技术的自动化水平，奠定了快速扫描测量的基础 ，提高了测量效率和精度，并增强了坐标测量机的功能。 　　 　　第一次提出软件补偿误差技术 　　 　　1977年，R.Hocken等在MooreN.5坐标测量机上实现了误差的软件补偿，并为此获得了国际生产工程科学院的泰勒奖章。1985年 天津大学精密仪器与光电子工程学院张国雄教授等对坐标测量机进行了软件误差补偿，将精度从20μm提高到2μm。此后，各种软件误差 补偿技术迅速发展，如热误差补偿、动态误差补偿等，并获得广泛应用。 　　 　　第一台并联机构坐标测量机 　　 　　1978年，前苏联Lapik公司推出了并联机构坐标测量机。该测量机具有结构刚性大、运动速度高、误差不叠加等特点，改善了测量精 度和效率。 　　 　　第一次提出智能坐标测量技术 　　 　　1984年，TheodoreH.Hopp等对智能坐标测量技术进行了初步探索，提出从CAD数据库中提取公差项和测量项目，并利用它们来驱 动测量的规划和伺服控制。此后，智能坐标测量技术不断发展。2004年，笔者提出了“免形状（form-free）”测量模式，并据此研制了 复杂形状测量机FormFree300。该测量机的意义在于：一台仪器就是一个“开放”的平台，不依赖于被测对象；能快速实现未知形状的 识别；在“免形状”测量模式下，扩展了精密量仪的功能，减少了仪器配置；更彻底地避免了操作人员的干预，有利于提高测量精度并 降低了人员的劳动强度。 　　 　　第一台关节式坐标测量机 　　 　　1986年，日本小坂研究所的小美浓武久等研制了关节式坐标测量机。关节式坐标测量机由多个关节组成，安装有探测系统的测量臂 可由人牵引对零件表面进行测量。安装在关节上的角度传感器获得转动角度，结合臂长可计算出测量点的坐标值。其主要优点为量程大 、体积小、质量轻、灵活方便、便于现场测量。 　　 　　第一个测量软件国际标准 　　 　　1983年，美国CAM–I公司对坐标测量机编程规范和尺寸测量接口标准（DMIS）发起讨论，最早的DMIS版本于1987年问世。DMIS 的目的是为计算器系统和检测设备之间提供一个双向的检测数据标准，利用这些标准可以为检测程序和检测结果建立一个中性格式。 DMIS综合了用户和制造商的意见，开创了编制坐标测量行业规范的先河，奠定了坐标测量软件的标准基础。 　　 　　第一台纳米坐标测量机 　　 　　1999年，英国国家物理实验室（NPL）基于商用测量机PMM12106研制了一台小量程测量机。该测量机的空间量程为50mm× 50mm×50mm，测量不确定度为50nm。纳米三坐标测量机开创了坐标测量精度新纪元，从而为微型制造奠定了坚定的技术基础。 　　 　　现状：竞争造就精细技术 　　 　　基本情况 　　 　　当前，坐标测量技术的发展现状可概括为5大点，分别是：直角（正交）坐标测量机和非直角（非正交）坐标测