MEMES微光栅编码器.ppt

用微光栅原理制成的红外光谱仪 返回 部分微系统光栅读码器在我们生活中的应用 识别条码 识别微雕刻 微图像印刷 指纹识别 谢谢大家！ 微型光栅编码器 MEMS grating encoder 07级电科4班 制作：岳森 赵建涛 王亮 赵博征 卢礼平 栗力 我将从以下几个方面给大家做出介绍： 1.开发微型光栅编码器的意义； 2.微型光栅编码器的原理及结构尺寸； 3.以投影型编码器为例详细介绍制作工艺; 4.近几年发展的新MEMS grating encoder; 5.部分微系统光栅读码器在我们生活中的应用 开发微型光栅编码器的意义； 编码器是一种探测位置、位移、角度、速度和旋转方向等用途的位置传感器。随着计算机的普及，伴随由模拟控制向数字控制转变而必然产生的模/数(A/D)变换器。最初编码器实施数字化的目的只是为了适应自动化、省力化和高速化发展的需要。近年来又向高精度化和多功能化方面发展。 对于复杂抛物线形状等的X线,用金属反射镜、非球面透镜，要求实现高精度化的呼声也日益提高。他们都要求用小于20nm的节距进行测量，有人提出用原子作为刻度的方法，这种方法也要求高分辨率。这样, 就势必要求实现微结构化。还有一个研究课题, 就是期待在高功能化方面实现集光传感器、执行元件、电子电路于一体化的光微级