两种边界条件下氩薄膜导热的NEMD模拟.pdfVIP

* 两种边界条件下氩薄膜导热的 NEMD 模拟 向恒 姜培学 刘其鑫 热科学与动力工程教育部重点实验室, 清华大学热能工程系, 北京 100084 E-mail ：Jiangpx@ 摘 要：本文采用非平衡分子动力学(NEMD)方法，结合 LJ势能模型，分别使用温度和热流 两种边界条件，初步探讨了氩薄膜热导率随薄膜厚度大小的变化及两种边界条件对模拟结 果的影响。 关键词：氩薄膜 热导率 非平衡分子动力学 温度边界 热流边界 1 引言 近年来，随着材料科学和加工技术的迅速发展，已经可以从微/纳米尺度上获得具有 很好特性的一些结构，并已经开始运用到现代科技里。其中，微米以下尺度的薄膜是大规 模集成电路的关键组成部分[1]。薄膜材料导热特性的研究，从 80 年代末期至今，一直是 热科学中倍受关注的热点问题[2][3]。在微尺度下，宏观连续理论不再适用，许多问题需要 从原子或分子的层面进行研究[2]，分子动力学(MD)模拟方法就是这样一种方法。 MD 方法分为平衡分子动力学(EMD)和非平衡分子动力学(NEMD)两大类，非平衡分子动 力学(NEMD)因为诸多优点被广泛运用[4][5]。NEMD 有多种分类方法，从模拟区域温度梯度的 引入方法来分类，大致可以分为温度方法和热流方法两类；从材料的均匀性来分类，有各 向同性(homogeneous) 和各向异性(inhomogeneous) 两类；从边界条件来分类，有温度边 界条件和热流边界条件等(周期性边界条件不属此分类范畴)。 在模拟纳米厚度氩薄膜导热的这一具体问题上，有如下一些研究报道：Kaburaki等[6] 采用 EMD 算法计算了不同温度下固态氩的导热系数，计算结果较实验值低。 Lukes 等[7] 采用 NEMD 方法对薄膜的一般热传导特性进行了模拟，结果表明薄膜的热传导性能随薄膜 厚度的增加而增加，并最终可超过块体(bulk)实验值 30%左右。冯晓利等[8]通过对纳米薄 膜导热系数的 NEMD 模拟结果和声子 Boltzmann 输运方程近似解的比较，揭示了导热系数 的“尺寸效应”来源于薄膜边界对声子的散射。杨决宽等[9]用 EMD 和NEMD 两种方法模拟了 氩薄膜的导热，认为温度在 20K 以上时，固态氩的量子化效应对其热传导性能影响不大； 并且随着膜厚的增加,导热系数增大,且模拟结果同模拟区域横截面大小无关。 本文采用非平衡分子动力学(NEMD)方法，结合 LJ 势能模型，分别使用温度(热墙)和 热流两种边界条件，初步探讨了氩薄膜热导率随薄膜厚度大小的变化及两种边界条件对模 拟的影响。 2 物理模型与边界条件 在各向异性 NEMD 方法中，仿照真实的物理模型对模拟区域施加温度梯度，并导致了 相应的边界条件，本文采用温度(热墙)和热流两种边界条件。使用温度(热墙)边界条件的 * 本文得到高等学校博士学科点专项科研基金(200200030004)和国家杰出青年科学基金的资助 - 1 - 薄膜导热的模型如图 1所示，其中 x、y 方向使用周期性边界条件，z 方向的两端分别为高 /低温恒温器。其实现过程是：当系统中任何一个靠近壁面的原子由于热振动偏离平衡位置 过多从而“碰撞”到高/低温恒温器时，将被高/低温恒温器反弹回来，反弹回的原子的动 能由高/低温恒温器的温度决定，其速度分布选用文献[10]所推荐的速度分布。在任一时间 步长∆t 之内，计算由于两壁面处因为“碰撞”所导致的在高温恒温器端流入系统的热量 ∆E 和在低温恒温器端流出系统的热量∆E ， 即可由 Fourier 定律得到该时间步长 k ,in k ,out 内的“瞬时导热系数”[