PLD方法制备的纳米FeAl薄膜的结构及应力分析.pdfVIP

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2015-08-15 发布于重庆
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PLD方法制备的纳米FeAl薄膜的结构及应力分析.pdf

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PLD方法制备的纳米FeAl薄膜的结构及应力分析.pdf

　第 17 卷　第 9 期强激光与粒子束 Vol . 17 ,No . 9 　　2005 年 9 月 H I GH PO W ER L A SER AND PA R T ICL E B EA M S Sep . ,2005 　文章编号 : 　100 14322 (2005) PLD 方法制备的纳米 Fe/ Al 薄膜的结构及应力分析 1 ,2 2 2 , 3 1 ,2 2 1 王　锋 , 　李　俊 , 　李国俊 , 　吴卫东 , 　唐永健 , 　孙卫国 ( 1. 四川大学原子与分子物理研究所, 四川成都 6 10065 ; 　2 . 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川绵阳 62 1900 ; 3 . 中国科学技术大学物理系, 安徽合肥 230026) 　　摘　要 : 　采用 PLD 方法制备了 Fe/ Al 合金薄膜 ,研究了 Fe/ Al 合金薄膜的物相、结构、应力等。研究表 ( ) 明薄膜的沉积速率随着衬底温度的升高而降低。原子力显微镜 A FM 图像显示 ,薄膜表面平整、致密且光滑 , ( ) ( ) 均方根粗糙度小于 1 nm 。等离子体发射谱 ICP 表明 Fe/ Al 原子比为 1 ∶1 。X 射线小角衍射 XRD 分析表明 ( ) 薄膜中的物相是 Al0. 5 Fe0. 5 ,Al0. 5 Fe0. 5 晶体具有简单立方结构 SC ,晶格常数为 0 . 297 nm ,平均晶粒尺寸为 81. 74 nm ,平均微畸变为 0 . 007 6 。 ( ) ( ) ( ) 　　关键词 : 　脉冲激光沉积 PLD ; 　Fe / Al 合金薄膜 ; 　原子力显微镜 A FM ; 　X 射线衍射 XRD 　　中图分类号 : 　O484 . 5 　　　　文献标识码 : 　A 　　Fe/ Al 混合薄膜具有奇特的电、磁、光等物理性质和热稳定性[ 1～3 ] ,在半导体器件、信息功能材料、磁存储 ( ) 器件、集成电路等方面有广阔的应用前景。另一方面 ,在惯性约束 ICF