太阳能电池硅片线锯砂浆中硅屑的回收技术研究.pdfVIP

太阳能电池硅片线锯砂浆中硅屑的回收技术研究／黄美玲等 ·263 · 太 阳能电池硅片线锯砂浆中硅屑的回收技术研究 黄美玲，尹传强，熊裕华，魏秀琴 ，周 浪 (南昌大学材料科学与工程学院，南昌 330031) 摘要 多线切割是当前硅太阳能电池片生产的主要工艺。在线切割过程 中约有 1／2的晶体硅成为锯屑 进入到切割砂浆。砂浆中的各种污染物并未进入高纯硅屑晶体 内部 ，因此可以期望通过物理分离、清洗等技术 来提取获得高纯硅粉，而不需要通过高耗能的高温化学或相变过程。综述 了硅片线切割过程、硅屑形成及废砂 浆特性，评述 了从线切割废砂浆中回收高纯硅粉的研究现状和进展 ，包括本研究组近期的研究结果。 关键词 线锯 硅 砂浆 回收利用 DevelopmentofTechnologyforRecoveryofSiliconSaw Dustsfrom W ireSaw Slurry HUANG Meiling，YIN Chuanqiang，XIONG Yuhua，W EIXiuqin，ZHOU Lang (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，NanchangUniversity，Nanchang330031) Abstract Multi—wire-saw cuttingisthecurrentmajorprocessfortheproductionofsiliconwafersforsolar cells．Abouthalfofhighpuritysiliconbecomessaw dustsandaremixedintothewiresaw slurry．Asthesystem iswell cooledandnosignificantthermaldiffusionoccurs，thecontaminationtothesilicondustsiS1imited to itssurface，and thereforecanberemovedwithouttheneedforhigh-temperatureenergy-consumingchemicalorphasetransformation processes．Thewire-cuttingprocess，fomr ationofthesilicondustsandcharacteristicsoftheslurryareintroduced．Re— searchesandpatentsforprocessingandrecoveryofthewireS3W slurrywaste，withemphasisonrecoveryofhighpuri— tysiliconpowders，arereviewed，includingthelatestresultsoftheauthorsgroup． Keywords wire-saw，silicon，slurry，recovery 太阳能电池片普遍采用多线锯配合砂浆切割生产 ，线切 片的需求不断增加 ，对硅片切割精度的要求越来越高。传统 割中使用的砂浆通常是 由矿物油或者聚乙二醇 (PEG)等带 的外圆和内圆切割已不能满足现有硅片大尺寸、小切缝 、高 有一定粘度的介质与 SiC磨料粉混合而成 ；线锯丝径一般为 质量和生产效率 的要求。线切割技术是新兴硅晶片的加工 0．18mm，产生的锯缝宽度一般为 0．2～O．3mm，而当前太 阳 工艺，适用于大直径 、超薄片、大批量硅晶片的生产 ¨1]。 能电池硅片的厚度为 0．18～O．22mm，这意味着在硅 片线切 线锯切割技术是 20世纪 9O年代发展起来的，最初是运 割过程中超过 5O％的硅料成为锯屑进入砂浆口]。近期正在 用游离磨料的方式 ，即将磨料混在切削液 中，利用线带动磨 初步试用直径 0．12mm的线锯，同时更薄的电池硅片也在开 料对工件进行材料去除的