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材料导报
· 56 · 材料导报 2012年 11月第26卷专辑 2O
非磁性元素Ca掺杂AIN稀磁半导体纳米棒阵列
娄 阳
(新疆大学物理科学与技术学院,乌鲁木齐 830046)
摘要 采用无催化剂辅助化学气相沉积法,以无水A1CIs、NH3气和无水CaC12分别作为Al源、N源和Ca源,
首次获得 Ca掺杂A1N纳米棒阵列。纳米棒的长度约为几百纳米,直径为200~500nm。能谱 (EDS)证明Ca掺杂的
原子分数约为4.4%o;光致发光光谱(PL)表明N空位引起在 359nm的发光中心;在磁性能测试中观察到明晰的磁滞
回线,表明样品具有室温铁磁性。
关键词 无催化剂辅助化学气相沉积法 纳米棒阵列 Ca掺杂A1N 室温铁磁性
NonmagneticCaDopedAIN DilutedM agneticSemiconductorNanorodArrays
LOU Yang
(DepartmentofPhysicalScienceandTechnology,Xi@angUniversity,Urumqi830046)
Abstract CadopedA1N dilutedmagneticsemiconductor (DMS)nanorodarraysarefirstlysynthesizedbya
catalyst—freechemicalvapordepositionmethod,usinganhydrousA1Cla,NHaandanhydrousCaC12assources.The
lengthofthenanorodsisintheorderofsevera1hundredsnanometerandthediametervariesbetween 200nm and
50Onot.EDS provesthatdoping concentration ofCa isabout4.4 at .PL spectrum showsapeak at359nm
(3.46eV),whichisattributedtoN vacancy.Vibrationsamplemagneticfieldmeter(VSM)exhibitsthesampleshave
clearmagnetichysteresisloop (M H ).Itprovesthatthesamplesareferromagneticatroom temperature.
Keywords catalyst-fleechemicalvapordeposition,nanorodarrays,CadopedA1N,room temperatureferro—
magnetic
近几年,利用磁性过渡金属掺杂传统半导体构造的稀磁 或团簇。例如,Cr掺杂A1N,基于密度函数理论(DFT)计算,
半导体(DMSs)在 自旋电子器件方面上的应用充满希望。除 每个 Cr原子的理论磁矩是3 _1,然而实验中观测到的值比
电荷 自由度以外,还有希望利用电子的自旋 自由度把信息处 理论值小很多,每个 Cr原子的磁矩在 0.5 ~1.1 _1“]之
理和储存联合起来,因此DMSs已经引起越来越多学者的研 间变化 ,表明掺杂物 Cr在 AlN中是非均匀分布的。
究兴趣[1]。为了实际的应用,就要求构造高居里温度 (丁) 为了避免磁性析出相的问题,采用新型的、非磁性的掺
的铁磁性物质,并且让磁性掺杂物均匀地分布其中。自从报 杂元素来构造 DMSs,并期望掺入半导体而形成铁磁性。据
道 Mn掺杂 InAs和 GaAs在 100K时具有铁磁性 以来_5], 文献E28,29]报道,非磁性Cu掺杂A1N表现出铁磁性并且
Ⅲ一V族基半导体已经被广泛地研究,并 已具有完善的载流子 高于室温。稀土元素Y 。_和 Sc[3 掺杂
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