基于双测头的时栅位移传感器自标定方法.pdfVIP

2015伍 仪 表 技 术 与 传 感 器 2015 第 2期 Instrument Technique and Sensor No．2 基于双测头的时栅位移传感器 自标定方法 鲁 进 ，陈锡侯 ，彭东林 ，官云丽 (1．时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室，重庆 400054；2．重庆理工大学电子信息与 自动化学院，重庆 400054) 摘要：为提 高时栅的测量精度，扩大其应用领域 ，提出了一种基于双测头的时栅位移传感器实时在线 自标定方法。利 用空域信号傅里叶级数的空间位移和线性性质，找出了相距一固定角的两个测量位置时栅示值之差数列的傅里叶级数与 误差函数傅里叶级数间的关系；在此基础上，提 出利用双测头相对回转的方法，实现 了相距定角的两测量位置时栅示值之 差数列的傅里叶级数的获取和误差函数的重构；分析 了定角取值对误差函数重构精度的影响。试验结果表明：该方法能 在误差频次高、误差成分复杂的条件下有效降低整周范围内时栅的测量误差，对 72对极的时栅传感器，经 自标定后剩余 误差的峰一峰值小于2”，达到计量光栅精度水平，且系统极易集成，易于实现。该方法特别适合于大直径 、大中空等极端特 殊条件下时栅 的 自标定，也 同样适用于其他 同类型位移传感器的 自标定。 关键词：时栅；传感器；自标定；位移；误差 中图分类号：TP212 文献标识码 ：A 文章编号：1002-1841(2015)02—0078-04 ResearchofSelf-calibrationM ethodf0rTimeGrating DisplacementSensorBasedOnTWOReadHeads LU Jin，-，CHEN Xi—hou ，PENGDong—lin ，GUAN Yun—li (1．ChongqingKeyLaboratoryofTimeGratingSensing AdvancedTestingTechnology，Chongqing400054，China； 2．CollegeofElectronicInformationandAutomation，ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing400054，China) Abstract：Toimprovemeasurementaccuracyoftime—gratingdisplacementsensorandexpanditsapplicationfield，anew self- calibrationmethodfordisplacementsensorbasedontworeadheadswasproposed．Usingspaceshiftingpropertyandlinearproperty ofFourierseries，therelationshipofFourierseriesbetweensensorerroranddifferentsequencesoftwoindicatingvaluesspacing fixed—anglewasestablished．Onthisbasis，usingrelativerotationofthetworeadheads，theFourierseriesofdifferentsequencesof twoindicatingvaluesspacingfixed—anglewasachieved，anderrorfunctionwasreconsturcted．Theinfluenceoffixed—anglevalueson reconsturctionaccuracyoferrorfunctionwasdiscussed．Experimentresultsindicatethatthesefl-calibrationmethodfortimegrating displacementsensorprop