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智能薄膜材料 智能材料的基本结构： 智能材料不是一种单一的材料，而是一个由多种材料 组元通过有机紧密复合或严格地科学组装而构成的材 料系统，是一种智能机构。 一、形状记忆合金： 具有形状记忆效应的金属，通常是由2种以上的金 属元素构成的合金，故称为形状记忆合金(Shape Memory Alloys，简称SMA)。 形状记忆合金的发现： 20世纪60年代初，美国马里兰州海军军械研究所的科学家比勒，用镍钛合金丝做试验。这些合金丝弯弯曲曲，为了使用方便，他把这些合金丝弄直了。但是，当他无意中把合金丝靠近火的时候，奇迹发生了：已经弄直的合金丝居然完全恢复了它们原来弯弯曲曲的形状。 形状记忆合金的特性 1.微动器：获得快速驱动 2.在航空上的应用：制造人造卫星天线 3.工程应用:紧固件、连接件、密封垫、管件接头等 * 一、 智能材料的基本概念 材料的发展和应用历史： 材料科学的发展演化过程 智能材料是继天然材料、人造材料、精细材料之后的第四代功能材料。 智能材料定义： ----(Intelligent material，Smart material )是一种能从自身的表层或内部获取关于环境条件及其变化的信息，并进行判断、处理和作出反应，以改变自身的结构与功能，并使之很好地与外界相协调的具有自适应性的材料系统。 智能材料需具备的内涵： （1）具有感知功能，能够检测并且可以识别外界（或者内部）的刺激强度，如电、光、热、应力、应变、化学、核辐射等； （2）具有驱动功能，能够响应外界变化； （3）能够按照设定的方式选择和控制响应； （4）反应比较灵敏、及时和恰当； （5）当外部刺激消除后，能够迅速恢复到原始状态。 智能材料必须具备感知、控制和驱动三个基本要素。 智能材料一般由两种或两种以上的材料复合构 成一个智能材料系统。 传感器 执行器 控制器 智能机构 材料自身能够探测到外部环境状态的变化 能够自动地执行改变材料状态的指令 能够对探测到的外部环境的变化作出判断，并给出相应的改变材料状态的指令 形状记忆效应可分为3种类型： ①单程形状记忆效应 ②双程形状记忆效应 ③全程形状记忆效应 形状记忆效应机制示意图 原子排列面的切应变 结构相同，位相不同的马氏体 变体界面移动，相互吞食 变形前后M结构未变 形状记忆合金晶体结构变化模型 形状记忆效应 高阻尼特性 超弹性效应 形状记忆合金特性 弹性模量随温度变化特性 电阻特性 合金能记忆它在高温奥氏体下的形状，低温时的塑性变形通过高温加热恢复形状 合金在外力作用下产生远大于其弹性极限应变量的应变，在卸载时这种应变得以自动恢复的现象 处于马氏体奥氏体混合状态下的SMA阻尼性能最好，全马氏体态次之，全奥氏体状态阻尼性能最差 电阻率随温度的变化而变化 ，温度达到马氏体逆变温度时电阻明显降低，降温至逆变温度时电阻明显升高。 SMA在奥氏体态的弹性模量是马氏体态弹性模量的3倍以上，并且弹性模量随温度的改变而改变。 二、 Ti-Ni基形状记忆合金薄膜的制备和表征 溅射沉积、真空蒸发沉积、激光熔融等已用于制备厚度大于10μm的NiTi形状记忆合金薄膜。其中溅射方法是获得完整形状记忆效应的主要方法。 影响薄膜质量的主要溅射参数是射频功率、Ar气分压、基片-靶距离、基片温度和靶的合金组分。 ★ 在低Ar气分压下制得的NiTi膜较为平整，无任何结构特征面； ★ 在高Ar气分压下所得到的膜呈柱状结构。 柱状结构表明膜是多孔的。这一结构可能是由于沉积原子在生长膜表面的迁移受到限制所致。 ★ 在较高Ar气分压下，由于Ar离子间的碰撞而使被溅射出来的原子能量降低，导致其表面扩散能力的降低，而且在高Ar气分压下，吸附在膜表面的Ar离子会干扰Ti和Ni原子的表面扩散。 有两种方法使溅射沉积的NiTi膜具有记忆形状： ① 在室温溅射沉积NiTi膜，然后在733 K左右的温度下使其结晶化； ② 在基片温度高于623 K的温度下溅射沉积NiTi膜。 三 形状记忆合金及薄膜的应用 利用Si基微机械加工技术和溅射沉积NiTi膜，人们已制造出原形微动器，它们包括弹簧、双梁悬臂、阀、镜面驱动器、隔膜、微夹具等等。 Ti-Ni形状记忆合金制造的人造卫星天线 美国宇航局的月面天线计划： 在室温下用形状记忆合金制成抛物面天线，然后把它揉成直径5厘米以下的小团，放入阿波罗11号的舱内，在月面上经太阳光的照射加热使它恢复到原来的抛物面形状,从而能用空间有限的火箭舱运送体积庞大的天线。 形状记忆合金用作铆钉的工作原理图 4.医疗领域应用:牙齿矫形丝、血栓过滤器、动脉瘤