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过渡层类型对类金刚石薄膜性能的影响.pdf
2008 2 Feb2008
33 2 LUBR ICATION ENGINEER ING Vol33 No2
*
( 518060)
: ,
A l O C,
2 3
, , /T i/TiN /TiCN /C
: ECR; ; ;
: TH 1171 : A : 0254 0150 ( 2008) 2 087 3
Effects of DifferentBuffer Layer on he Properties of
Diamondlike Carbon
N ei J un lan Gu Kunm ing Tang J iaon ing L iu L i
( ShenzhenK ey Laboratory of Special FunctionalM aterials, College ofM aterials Science andEngineering,
ShenzhenUniversity, Shenzhen Guangdong 518060, China)
Abstract: T i doped carbon thin filmsw ith different buffer layers on stain less steel and A l O ceram ics substrateswere
2 3
fabricated by sputtering graphite and T i targets and using electron cyclotron resonance plasm a sputtering and magnetron
sputtering. The influence of different buffer layer on the properties of the th in film s such as surface topography, hardness,
tribological properties and surface energy was studied. It is found that the density and uniform ity of the film s are mi proved
w ith conductive substrate. The highest hardness of the film s is obtainedw ith T i/T iN /T iCN /C substrate.
Keywords: electron cyclotron resonance deposition; diamondlike carbon; m etalcontaining carbon; buffer layer
, DLC ( D iamondlike DLC,
Carbon) , DLCDLC
,
, DLC ( )
! [ 1] , [ 6]
, DLC
, , , , DLC, DLC
DLC ,
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