利用紫外线固化树脂开发树脂结合剂金刚石线锯副本.pdfVIP

2004 年第 5 期　　　　　　　　　　　　　　　　　 珠　宝　科　技 第 16 卷 2004 年 10 月 JEW EL R Y SC IEN CE AND T ECHNOLO GY 总第 57 期 利用紫外线固化树脂开发 树脂结合剂金刚石线锯① ( ) 日 本俊之等 摘　要: 半导体工业的最近技术趋势是使用大直径硅片, 以提高硅器件产量, 降低制作成本。传统内周刃切 断刀用来切断大直径硅锭则会降低其生产率。所以线锯技术引起人们的关注, 并在逐渐替代内周刃切割技 术。目前广泛采用悬浮磨粒线锯切法, 但该法存在工作环境恶劣、生产效率低下等问题。为解决这些问题, 已开发出采用树脂结合剂金刚石线锯的固结磨粒线锯切法, 但这种线锯由于用作结合剂的热固性树脂的 固化时间太长, 仍有生产成本过高的问题。因此, 这种金刚石线锯尚不能投入实际应用。为解决这一问题, 本研究采用可在短时间内固化的紫外线固化树脂作为树脂结合剂线锯的结合剂。一系列试验表明, 新开发 的线锯制作成本低, 机械性能和加工性能均良好。 关键词: 线锯切; 切断; 树脂结合剂金刚石工具; 线锯; 热固性树脂; 紫外线固化树脂; 硅锭 中图分类号: TQ 164　　文献标识码:A 　　文章编号:(2004) ( ) ( 1　绪论 线锯性能 断裂扭曲强度 和切断性能 切断效率和切 ) 近年来, 半导体器件在向高性能化发展, 芯片尺 断面粗糙度 。 寸呈增大趋势, 因此用作衬底的硅片日益趋向大直径 但是, 传统树脂结合剂线锯与普通砂轮一样, 其 化。而且直径 300 的硅片最近已开始批量生产。 结合剂采用的是酚醛树脂之类的热固性树脂, 线锯制 mm 随着硅片的大直径化, 为了提高生产效率, 硅锭的切 作中的树脂固化需要加热和烧结工序, 因此, 线锯制 断工艺正在从传统内周刃切断方式向线切断方式过 造速度只能提高到每分钟数十米左右, 在硅片生产现 渡。具体说来, 直径 8 英寸和 300 硅锭已采用多线 场使用线锯成本太高, 到今尚未投入实际应用。 mm 切断方式, 取代了 6 英寸以下硅锭切断中当作主流的 鉴于上述情况, 为降低树脂结合剂金刚石线锯的 内周刃切断方式。 制造成本, 即提高生产速度, 本研究开发出结合剂采 目前的线切断技术使用的是切断中向琴钢丝供 用快速固化性优异的紫外线固化树脂的金刚石线锯, 给高粘度 GC # 600～ # 1000 磨粒悬浮液的浮悬磨粒 并对其性能进行了评价。 [ 1 ] 方式 。但是由于使用浮悬磨粒, 作业环境恶劣、切口 损耗大、钢丝移动速度有限、切断效率的提高受到限 2　采用紫外线固化树脂的金刚石线锯 制等问题, 迫切希望着有固结磨粒线锯可供使用。在 的试制 这种情况下, 为了多线切断硅锭, 线锯长度至少需要 达到 10