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2015-08-18 发布于重庆
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微细加工与装备技术进展.pdf

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综述 2006 6 * , , , , ( , 454000) , L IGA L IGA , , : : TH 16 : A : 1671) 3 133( 2006) 06) 014 3) 04 The developm en t of m icrom ach in ing and furn ish techno logy Zhao Bo, Cheng X uel, L u Chuanshao, G ao Guo fu, J ao Feng ( M echan ca l and Dynam c Eng neer ng academ c o fH enan Inst tute of sc ence and technology, J aozuo 454000, H ecnan, CHN ) A bstrac t T he present statu s o fm crom ach n ng and furn sh techno logy are presented. T he techno log cal pr nc p le and techn cal feature o f the typ ca lm cromach n ng a re ntroduced, these typ ca l technology are etch ng, L IGA and quas-L IGA technolog es, and m cro non- trad t ona lm ach n ng, but a lso po n t out the m er ts and fau lts. T he trend o f deve lopm ent o f the m cromach n ng and furn sh techno logy s ana lysed. K ey w ord s: M crom ach n ng Furn sh T rend of dev elopment 2) L IGA L IGA L IGA [ 2] 1 L thograph e, Galvano form ung A bform ung 111 , 1) L IGA , , Lm , L IGA [ 3] : ( 157 ~ 351nm ) , ( ns) , L IGA : L IGA , , ; , ,