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超纯水制备技术工艺及其原理全面解析.doc
超纯水制备技术工艺及其原理全面解析
对于超纯水的需求随着半导体工业,对超纯水质量要求提高,从而大大的推动了纯水技术的发展,膜技术得到了广泛的应用,微滤,超滤,电渗析和反渗透技术先进的水处理技术得到了飞速的发展,膜法制备纯水取代了传统的离子交换器系统,解决了TOC问题,满足了电子行业对纯水质量的要求。
超纯水制备工艺
1.传统超纯水制备工艺流程:
原水—多介质过滤器—活性炭过滤器—一级除盐—混床—超纯水
2.膜法超纯水制备工艺流程:
原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水
在膜法工艺中,超滤,微滤替代澄清,石英砂过滤器,活性炭过滤器,除去水中的悬浮物胶体和有机物,降低浊度,SDI,COD等,可以实现反渗透装置对污水回用的安全,高效运行,以反渗透替代离子交换器脱盐,进一步除去有机物,胶体,细菌等杂志,可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求,以EDI代替混床深度脱盐,利用电而不是酸碱对树脂再生,避免了二次污染。
原水水质概论
水中的杂质按存在的形态的不同可以分为悬浮物,胶体和溶解性固体三种,其中固体含量用总固体量作为指标,把一定量水样在105-110°烘箱中烘干到恒重,所得的重量及为总固含量。
第一类是悬浮物物指悬浮于水中的物质,颗粒直径在10-4mm以上,如泥沙,粘土,动植物残骸,微生物,有机物,藻类等
第二类是胶体,指水中带电荷的胶体为例,颗粒直径在10-5mm之间,胶体颗粒是许多分子或离子集合体,这种细小颗粒具有较大的比表面积,从而使他具有特殊的吸附能力,而被吸附的物质往往是水中的离子,因此胶体颗粒带有一定的电荷,如硅铁铝化合物及一些高分子有机物如腐殖质等,也有一些在此粒径范围的细菌,病毒等。
第三类是溶解物,只被水所溶解的,分子或离子状态的溶质或气体如氯化物,硫酸盐等。
悬浮物和胶体是使天然水产生浑浊的主要原因。
原水的预处理
反渗透因为膜材料及元件的关系,对进水水质有一定的要求,预处理解决的问题是赌赛,结构,污染和波坏,堵塞时指水中的颗粒,悬浮物,胶体,铁氧化物沉淀等堵塞膜元件的流道,结垢是指难溶盐在浓水侧浓缩厚结晶析出,可预先除去或加阻垢剂。污染是指油脂,有机物吸附在膜的表面,微生物繁殖,胶体吸附等,采用杀菌,氧化破坏,絮凝过滤,活性炭吸附等办法解决,波坏是指自由杨,臭氧等氧化剂破坏膜材料,采用活性炭吸附或者加还原剂
1.传统预处理方法
多介质过滤器对有机物除去主要是依靠絮凝作用加以捕获,只对颗粒状或胶体状的大分子物质有效,对溶解状态的天然有机物和许多工业有机污染物无效
活性炭吸附可以通过吸附作用,部分除去小分子的有机物,活性炭对于COD德除去率在40-90%。活性炭不作为过滤截留用。
2.膜法预处理
膜法预处理为下游的拖延系统提供可靠的进水水质保证。
过滤是一种以筛分为分离原理,以压力位推动力的膜分离过程,过滤精度在0.005um-0.01um范围,可以有效除去水中的微粒,胶体,细菌以及高分子有机物等,超滤过程无相转化,具有良好的耐温,难酸碱和耐氧化性能。超滤采用不同的截留分子量的膜材料及工艺设计,可以适应各种不同水质条件及分离功能。
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