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化学镀铜及其应用.pdf

· 76· 材料导报 化学镀铜及其应用。 郑雅杰1 邹伟红1 易丹青2 龚竹青1 李新海1 (1 中南大学冶金科学与工程学院;2 中南大学材料科学与工程学院,长沙410083) 摘要 综述了化学镀铜技术及其发展趋势,对化学镀铜的原理、工艺、镀液组成等方面进行了全面的分析,最后 对化学镀铜今后的研究方向提出了一些见解。 关键词 化学镀铜机理工艺应用 and ofElectroless Application Copper Technology Plating ZHENGiel ZOU YI GONG LIXinhail Yaj Weihon91Danqin92 Zhuqin91 Scienceand South (1 MetallurgicalEngineering UniVersity; College,Central 2 MaterialScienceand South 410083) EngineeringCollege,CentralUniversity,Changsha AbstractThe and trendofelectroless aresummarizedinthis technologydevelopment copperplating paper. Thenlechanismandthetechnicsofelectmless andthe ofsolutionarediscussedindetailS. copperplating composition Sbme aremadeonelectroless thefuturB suggestions copperplatir塔in wordselectroless Key copperplating,mechanism,tec}lrlology,application 1947年纳克斯(Narcus)首次报道了化学镀铜技术,50年代理和次磷酸钠还原铜机理[6]。 中期,随着印制线路板(P(、B)通孔金属化的发展,化学镀铜得到 以甲醛为还原剂,其金属催化活性如下: 了最早的应用[1矗]。由于化学镀铜技术不受基体大小、形状和 导电与否的影响,可通过镀液中的还原剂将铜离子直接均匀地 甲醛作还原剂沉积的铜具有催化活性,可以继续发生自催 沉积到基体表面,对非金属表面金属化是一种非常有效的方 化反应。总反应是2个半反应组成的氧化还原电池反应,每个 法[3“],因而它在工业上的应用范围正日益扩大,已成为化学家 电极反应和对应的电极电位如下: 和材料学家研究的热点。 阴极反应:C扩++2P一一C“E&2+/Gl一0.334V 阳极反应: 1化学镀铜原理及工艺 (a)在中性或酸性介质中 1.1化学镀铜原理 化学镀铜是指在没有外加电流的条件下,利用处于同一溶 E9=一O.056—0.06户H 液中的金属铜盐和还原剂在具有催化活性的基体表面上进行自 (b)在pH11

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