H—S波前传感器在测量光束质量因子M^2中的应用.pdfVIP

维普资讯 第 29第 2期 光 电工程 Vo1．29,No．2 2002年 4月 lectronic En 文章编号：1003—501X (2002)02-0006-04 H—S波前传感器在测量光束质量 因子 2中的应用 胡诗杰，许 冰，侯 静 (中国科学院光电技术研究所，四JIl成都 610209) 摘 要：仿真研究了It-S测量M 因子等光束质量指标的全过程和可行陛。结果表明，由H—S测 量的圆形光束的肘 因子值与原始光束的M 因子值基本相当，有很好的一致性。由此认为，H-s 除了可以评价远场测量系统探测得到的光斑的各种量，比如 PSF，0TF，衍射极限，环固能量等远场 特性，而且还可以从M 因子来说明光束质量的特性。 关键词：波前传感嚣；光束质量；波像差 中图分类号：O439 文献标识码：A ApplicationofHartmann-ShackWavefrontSensorto MeasurementofBearnQualityFactorM HUShi-jle．XUBing,HoUJing (InstituteofOpticsandElectronics．ChineseAcademyofSciences,Chengdu610209，Cl^ Abstract：ThewholeprocessformeasufingM ufc~rere．beam qualityindexeswithHartmann-Shack wavefrontsensorandfeasibilityaresimulated．Theresultsshow thatM factorvaltieofcircularbeam measuredwithHartmann-Shackwavefrontsensorisbasicallyconsistentwiht 山e M factorvalueof山e originalbema ．From thiswecarlsee,apartfrom evaiuatirtgvariousspotparma eterssuchaspointspre~ function。opticaltransofrufnction．diffraction limitandencircleenergyetc．far-fieldchraacteristics， whichareobtainedindetectionbythefra-fieldmeasuringsystem。thequalitychraacteristicsofbema callalsobe describedfrom M factorvalue、 Keywords：W ave．frontsefisors：Baem quality；Wave-frontaberration 引 言 aartnlan[i．Shack波前传感器 (以下简称H-S)在 自适应光学系统、光学元件镜面的表面面形检测、光 学系统的像差检测等领域得到了广泛应用，并且还可望在光通讯、医疗等领域得到应用。由于其可以同时 测量激光束的波前相位分布和强度分布的时间特性和空间特性，提供激光光束和光学系统的详细的动态信 息，由这些信息可以得到激光束的近场和远场的详细情况，因此H．S也可应用于光束质量的动态和静态检 测与诊断 ”。 H．S在光束质量诊断方面，文献[1】分析了由H．S探测得到的近场相位通过Fourier变换的一些远场特 性，诸如PSF和OTF。文献[2】分析了波像差与光束质量指标的关系，并给出了波像差与光束质量之间的拟 台关系式 。H．S还可用于评价衍射极限和环围能量等远场特性口】，但基于H．S的M 因子测量没有作过介 收稿 日期；2001—10—18； 收到傩改稿