LCD组件检测中用MTF评估自动聚焦分辨率的方法.pdfVIP

第39卷第3期 光电工程 V0ll-39．NO．3 2012年 3月 Opto—ElectronicEngineering March，2012 文章编号：1003—501X(2012)03—0057—09 LCD组件检测中用MTF评估 自动聚焦分辨率的方法 李 琪，卢荣胜，王成顺，付 琰 (合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院，合肥 230009) 摘要：液晶检测设备在 自动聚焦后由于焦距变化 ，成像分辨率也不可避免的发生变化，为此必须提供一种快速评 估检测设备实际分辨率的方法。由于检测设备总分辨率为镜头分辨率与相机分辨率的乘积， 因此论文提出先根据 相机的各种噪声模型建立相机对比度分辨值 ，接着用频率渐变的LCD黑白样条光栅评估不同频率下镜头MTF的 像质退化情况，最后通过分析分辨率与对比度关系，得出相机最高对比度下能够分辨出的经过成像系统像质退化 产生亮暗模糊所对应的空间截止频率。实验表明在使用光学检测设备对手机背光源进行缺陷检测时，论文的方法 评估实际分辨率17Ixm，用背光源标定样品实际检测后可以得到，对于 17um 以上缺陷检测设备都能清晰成像， 因此结果证明了该方法的有效性。 关键词：自动聚焦；相机对比度；MTF；镜头分辨率；LCD黑白样条 中图分类号：TH741 文献标志码：A ’ doi：10．3969j／．issn．1003—501X．2012．03．01l Auto．f0CUSResolutionEstimationUsingM TF M ethodinLCD ComponentsInspection LIQi，LURong—sheng，WANGCheng—shun，FUYan (InstrumentationScienceandOpticalElectronicEngineeringCollege， HefeiUniversityofTechnology，Hefei230009，China) Abstract：BecauseoffocuschangingwhenTFT inspectiondeviceperformingautofocus，theresolutionofdevicewill inevitably changes．So thereisaneed toofferafastestimation method fordevice’Sactualresolution．Sincetotal resolutionistheproductofcameraresolutionandlensresolution，atfirst，cameracontrastlimitissetupbasedonallkinds ofnoisemode1．Then，LCDwhiteandblackbarrfingeareusedwhosefrequencychangesgraduallytoestimatelensM TF degeneration．Finally,through relationshipbetween resolution andcontrast，thespatialcutthrough rfequencycanbe calculatedbydifferentiatingimagingsystem ’Slightdarkblursmallestdifferencesathighestcameracontrastdistinguish condition．Experimentalresultsindicatesthatwhenusingopticinspectiondevicetoexaminecellpho