拆衍混合系统实现长焦深方法研究.pdfVIP

维普资讯 葶 28卷 第3期 光电工程 V0J．28， No．3 2001年 6月 0DtO—ElectronicEn~ineerinR June，20o1 文章编号 ：1003--501X(2001)03--0001--05 折衍混合系统实现长焦深方法研究 白临波，李 展，陈 波，杜春雷，曾红军，郭履容 (中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术 国家重点实验室，四川 成都 610209) 摘要 ：通过对传统能量守恒法设计长焦深元件进行介绍与分析，根据衍射元件设计 灵活的特性， 提 出了改进的能量守恒法设计方法，利用折衍混合 晕统实现长焦深元件，并建立 了优化的评价函 数 分两步对设计结果进行优化 。 关键词：折衍混合 系统；长焦深；能量守恒法；评价函数 中图分类号：TN256 文献标识码：A A StudyonRealizationMethodofRefraction—Diffraction HybridSystem withLongFocalDepthElements BAILin—bo，LIZhan，CHEN Bo， DUChun-lei，ZENGHong-jun，GUOL~-rong (StateKeyLaboratoryofOpticalTechnologiesforMicrofabricatino，Instituteof pO ticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：BasedontheIntroductionandanalysisforthe designoflongfocaldepthelements withthetraditionalenergyconservationlaw，theimprovedenergyconservationlaw hasbeen putforwardandthelongfocaldepthelementscanbegeneratedwitharefraction-diffractionby- bridsystem accordingto theflexibledesign characteristicsofdiffractionelements．Anopti— mizedevaluationfunction isbuiltandthe optin zationforthe design resultshasbeencarried Outin tWOsteps· Keywords：Refraction-diffractionhybridsystem ；Longfocaldepth；Energyconservationlaw ； Evaluationfunctions 引 言 长焦深元件在很多方面有着重要的意义，例如在激光光刻中、激光扫描中、恶劣环境下的成像系统中 对长焦深元件都有一定的应用需求。实现长焦深的方法有多种，可以通过减小数值孔径来扩展焦澡，但这 样做同时将降低分辨力；1987年德尔宁提出无衍射光束后，利用无衍射光束可以实现长焦澡并提出了很 多设计方法，诸如圆锥透镜 (axicon)，无限窄圆环等方法，但都存在着焦澡范围不易控制和焦澡范围内光 场分布振荡很厉害，或者能量利用率低等问题。我们根据寿查基等人提出的能量守恒法，对其进行改进提 出了利用折衍混合系统实现长焦深的方法。 收籍 日期 {2001-Ol--03}收到修改藕 日期：2001--03--01 作者简介：白临渣(1972--)，男(汉族1，山西临甜人，博士生、从事微光学元件世计的研究。