掺Er%5e3＋：Al2O3平面光波导的溶胶-凝胶制备.pdfVIP

维普资讯 第33卷第6期 光电工程 Voi．33，No．6 2006年6月 Opto—ElectronicEngineering June，2006 文章编号：1003—501X(2006)06—0045—04 r ，j + 掺E O3平面光波导的溶胶一凝胶制备 A ^ 熊匕n 涛 ，刘永智 ，戴基智 ，杨长生2 (1．电子科技大学 光电信息学院，四川 成都 610054； 2．电子科技大学 微电子与固体电子学院，四川 成都 6l0054) 摘要：掺铒光波导主要用来制作光波导放大器。采用溶胶 一凝胶法制备 了透明、稳定的掺铒的铝 硅酸盐玻璃溶胶：使用浸渍提拉法或旋转涂敷法，并通过放在乙醇蒸汽中干燥，可在玻璃表面得 到均匀的凝胶膜；最后样品在一定温度下烧结；通过多次重复涂敷一烧结这一工艺流程可以形成 厚的硅酸盐玻璃膜层并得到波导结构。使用显微镜研究了凝胶膜表面性质，通过棱镜耦合法测量 了波导的有效折射率 ^ ，也测定了所制备波导的吸收光谱。溶胶一凝胶法在制作均匀性好、高 掺铒浓度的铝硅酸盐玻璃光波导上具有优势。 关键词：掺铒；铝硅酸盐玻璃；平面光波导；光波导放大器；溶胶 一凝胶 中图分类号：TN722 文献标识码：A Sol-gelpreparationofEr3十dopedA1203planaropticalwaveguide XIONG Taol，LIU Yongozhil DAIJi-zhil YANG Chang-sheng ， ， (1．Collegeof@ to—electronicInformation，Universityof ElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu610054，China； 2．InstituteofMicroElectronicsandSolidElectronics，Universiytof ElectronicScienceandTechnoloygofhCina，Chengdu610054，Chnia) Abstract：Erbium—dopedopticalwaveguideisusedtofabricateopticalwaveguideamplifiers．Stable andtransparentErjdopedaluminosilicateglasssolwaspreparedbythesol—gelrouteThenthegelfilm canbepreparedbydip-c·oatingorspin-c·oatingtechniqueonthesurfaceofglassandfollowedbydrying intheethanolvapo~Thicklayersofsilicateglasscanbeformedbyrepetitivelyusingthistechnique Waveguidestructurescanbefabricatedbysinteringthesampleatcertaintemperature．M icroscopeWas employedto investigate