光谱共焦位移传感器的色散物镜设计.pdfVIP

第38卷第7期 光电工程 Vo1．38，No．7 2011年 7月 Opto—ElectronicEngineering July,201I 文章编号：1003—501X(2011)07—013卜05 光谱共焦位移传感器的色散物镜设计 刘 乾，杨维川，袁道成，刘 波 (中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川 绵阳 621900) 摘要：光谱共焦位移传感器具有精度高、适应性强等特点，传感器的关键部件是产生轴向色散的物镜。本文对传 感器的工作原理进行了分析，推导了计算物镜光学参数的公式，并依据此公式计算结果设计物镜，得到了满足设 计指标的物镜，且与理论计算相符。传感器的工作波长范围是500～700n．rn，设计的色散物镜利用高色散玻璃和双 胶合透镜达到了lmm的量程，配以合适的光谱仪，传感器分辨率优于 1l,tm。物镜使用齐明透镜和双胶合透镜减 小球差，使得各波长的最大球差约为0．6岬 ，满足物镜精度要求。 关键词：位移传感器；光谱共焦；光学设计；色散镜头 中图分类号：TP212；0439 文献标志码：A doi：10．3969d。issn．1003—501X．20l1．07．022 DesignofDispersive0bjectiveforChromatic ConfocalDisplacementSensor LlUQian，YANGWei—chuan，YUANDao-cheng，LIUBo (InstituteofMechanicalManufacturingTechnology，ChinaAcademyofEngineeringPhysics， Mianyang621900，SichuanProvince，China) Abstract：ChromaticConfocalDisplacementSensor(CCDS)isnowusedwidelyforitshighpreciseandrobustproperty． Asthekeycomponent，theobjectiveisusedtoachievelongitudinalfocusvibrationwithwavelength．ThetheoryofCCDS isanalyzedandformulaeforcalculatingtheparametersofobjectivearepresented．Withtheformulaeguiding，a dispersiveobjectivewasdesigned．Toobtainlargeaxialaberration，theobjectiveisconfiguredwithhighdispersiveglass singletandspecialdoubletlens．Andaplanaticlensesanddoubletareusedtoreducelongitudinalaberration．Theobjective dispersedthefocusofwavelengthbetween500-700nm to 1mm longitudinalrange，andthelongitudinalaberrationis lessthan0．6um．W ithselectedspectrometer,theresolutionofCCDSisnomorethan1gm，whichmeetstherequirements ofdispersiveobjectiveprecision． ． Keywords：displacementsensor；chromaticconfocal；lensdesign；dispersivelens 0 引 言 长度测量是几何量测量中最基本的项 目，实现长度测量的一种重要仪器是位移传感器。随着精