光蚀刻不锈钢码盘制作中存在的问题及解决办法.pdfVIP

维普资讯 第 29第 2期 光电工程 Vbl-29．NO_2 2002年 4月 opto·Electronic Engineering April，2002 文童编号：1003．501X (2002)02．0042．03 光蚀刻不锈钢码盘制作中 存在的问题及解决办法 周翠花 ．李代学 (中国科学院光 电技术研究所，四川 成都 610209) 摘 要：分析T光仕刻不铸钢码盘制作 中存 在的问题并提 出了解决办法，使制作 工艺大为改 进，并制造 出T线条整齐性较好的不锈钢码盘，且其蚀刻幂度达 0．15mm，腐蚀因子达 3．2。 关键词：不锈钢码盘；蚀刻幂度；腐蚀因子 中图分类号：TN305．7 文献标识码：A TheProblemsinPhotoetchingStainlessSteel CodeDiskandtheSolutions ZHoU Cui·hua．LIDai-xue (InstituteofOpacsandElectronics,ChineseAcademy ofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：Theproblems inphotoetchingstainlesssteelcodediskareanalyzedandthesolutionsare proposed．Inthiswaythemanufacturingtechnologycanbegreatlyimproved．Thestainlesssteelcode diskhasbeenmanufacturedwithetchingdepthofO．15mm andcorrosivefactorof3．2． Keywords：Stainlesssteelcodedisc：Etchingdepth；Etchingfactor 引 言 码盘在航空、航天、国防工业等方面 已经得到广泛应用 。目前所用的码盘主要为玻璃材料码盘 和金属材料码盘两种 。玻璃材料码柱加工制造容易且线条质量好 ，所 以应用较为，～泛，但其抗振动、 抗冲击性差，满足不了在某些特殊环境条件 一作的需要。金属材料码盘加工制造较难且线条质量 较差，但具有抗振动 、抗冲击性好且易于安装等优点，所 以在某些特殊环境条件下金属码盘己必不 可少。金属码盘通常为不锈钢码盘 、铜码盘和铝码珊等。不锈钢码盘相对于铜 、铝码盘来说抗腐蚀 性更好且强度更高，所 以不锈钢码盘应用更广泛 。我们对光蚀刻方法制作不锈钢码盘进行 了深入的 研究，解决了制作中存在的一些问题，制作出了较理想的不锈钢码盘。 1光蚀刻不锈钢码盘制作工艺流程 光蚀刻不锈钢码盘制作工艺流 如 ： 1)用稀硝酸去除不锈钢片表面的氧化物， 浓碱液去除不锈钢片表面的油污 2)用 HNO．溶液对基片进行深处理 ： 收璃 日期：2001—07—09 收到恬改稿日期：2001一I2-30 作者商介：用耀艳 (I97卜)，女(汉旗)．心川井研^．研究立刊员．主耍从事光栅 码盥的复制工艺研究。 维普资讯 2002年4月 周翠花等：光蚀刻不锈钢码盘制作中存在的问题及解决办法 3)烘干后 吊胶 ； 4)前烘去除稀释剂： 5)用高压汞灯照射胶面曝光： 6)用Na0H碱液离心显影； 7)烘烤 (增加光刻胶的粘附性)； 8)腐蚀成形 ： 9)清洁码盘表面 (去胶)。 2光蚀刻不锈钢码盘制作中存在的问题及解决办法 2．1光