基于飞秒激光器光学频率梳的绝对距离测量.pdfVIP

第38卷第8期 光电工程 V_01．38．NO．8 2011年 8月 Opto—ElectronicEngineering August，2011 文章编号 ：1003—501X(2011)08—0079—05 基于飞秒激光器光学频率梳的绝对距离测量 许 艳 ，2一，周维虎。，刘德明 ，丁 蕾 (1．华中科技大学 光电子科学与工程学院，武汉 430074； 2．江西理工大学 应用科学学院，江西 赣州 341000； 3．中国科学院光电研究院，北京 100094) 摘要：提出使用飞秒激光器的光学频率梳测量绝对距离的方法。将一个飞秒激光器作为绝对距离测量的光源，搭 建迈克尔逊干涉结构，利用色散干涉原理进行相应的光谱分析，得到干涉光路的光学路径差引起的相位差，最终 计算出干涉光路的光学路径差。实验结果表明我们的长度测量方法精确度高，分辨力达到纳米量级。最小测量距 离达到9gm，非模糊范围达到5．75mm。相对于传统白光色散干涉技术的有限测量范围，最大测量距离可以扩展 到任意长度。 关键词：绝对距离测量；飞秒激光器；光学频率梳；色散干涉 中图分类号：TB921；TN248．1 文献标志码：A doi：10．3969j／．issn．1003．501X．2011．08．013 AbsoluteDistanceM easurementBasedontheOptical FrequencyCombofaFemtosecondLaser XU Yan， ，ZHOUW ei_hu3 LIU De．ming ，DING Lei3 ， (1．CollegeofOptoelectronicScienceandEngineering, HuazhongUniversityofScienceandTechnology，Wuhan430074，China； 2．CollegeofAppliedScience，~angxiUniversityofScienceandTechnoloyg，Ganzhou341000，JiangxiProvince，China； 3．Academyof@to—electronics，ChineseAcademyofScience，Bejiing100094，China) Abstract：Themethod ofmeasuring absolutedistancewiththeopticalrfequencycombofafemtosecond laserwas proposed．A femtosecondlaserwasusedasthelightsourceofperformingabsolutedistancemeas~ement．AM ichelson typeinterferometerstructurewasbuilt．Exploitingtheprincipleofthedispersiveinterference，thespectrum wasanalyzed ． Then，thephasedifferencewhi