热机械光读出非制冷红外成像系统建模分析.pdfVIP

维普资讯 第35卷第7期 光电工程 V0l-35．No．7 2008年 7月 Opto—ElectronicEngineering July,2008 文章编号：1003—501X(2008)07—0130—06 热机械光读出非制冷红外成像系统建模分析 焦斌斌 ，陈大鹏 ，张青川 ，叶甜春 ，高 杰 ，伍小平 (1．中国科学院微电子研究所，北京 100029； 2．中国科学技术大学 中国科学院材料力学行为和设计重点实验室，合肥 230037) 摘要：针对热机械光读出非制冷红外成像系统缺乏系统级噪声模型的问题 ，本文提 出了一种光电耦合模型。此模 型以光电耦合器件的模式体现了光读出非制冷红外系统的噪声隔离特性。基于此模型，文中将系统噪声划分为由 焦平面阵列(FPA)~l入的内部噪声和由于光读出系统引入的外部噪声。理论计算显示，系统的内部噪声对应的噪声 等效温差(NETD)~5．94mK。实验结果显示，系统的外部噪声对应的NETD与系统的总噪声对应的NETD相 当， 为98mK 此结果说明，理论模型中对 内部噪声影响的推断是合理的，且光读出成像系统的噪声主要源 自外部噪 声 关键词：非制冷；红外成像；噪声；建模；MEMS；焦平面阵列 中图分类号：TP722．5 文献标志码：A M odelingandAnalysisoftheThermal—mechanicalOptical ReadoutUncooledInfraredImagingSystem JIAOBin—bin，CHENDa-peng，ZHANGQing-chuan， YE Tian-chun ，GAO Jie，W UXiao-ping (1．InstituteofMicroelectlvnics，ChineseAcademyofSciences，Bejiingl00029，China；2．KeyLaboratoryof MechanicalBehaviorandDesignofMaterials，UniversityofScienceandTechnologyofChina，Hefei230027，China) Abstract：Todescribeandanalyzethesystem levelnoisesofthethermal—mechanicalopticalreadoutuncooledinrfared imagingsystem，aphotoelectricitycouplingmodelispresented．Thephotoelectricitycouplingdeviceinthemodelshows thenoiseisolationcharacteristicoftheopticalreadoutIRimagingsystem．Basedonthemodel，thenoisesarepartitioned intotwokinds：internalnoiseswhicharerfomtheFocalPlaneArray(FPA)，andexternalnoiseswhicharerfomtheoptical readoutsystem．TheNoise·equivalentTemperatureDifference0,mTD、causedbyinternalnoisesiscalculatedtobe5．94 mK theoretically~ExperimentshowsthattheNETD causedbyexternalnoisesis98mK，whichisclosetotheNETD causedbythewholenoisesofhtesystem．Theresultsindicatehtat