自动检测实验报告05扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验.docVIP

中 南 大 学 仪器与自动检测 实 验 报 告 冶金科学与工程 院 系 冶金 专 业 10级试验 班 级 姓 名 陈晓晨 学 号 0505100102 同组者 席昭 等 实验日期 2013 年 4 月 08 日 指导教师 实验名称：扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验 一、实验目的： 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。 二、实验仪器 压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V、±15V。 三、实验原理 在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，，形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。平时敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当传感器受压后芯片电阻发生变化，电桥将失去平衡，给电桥加一个恒定电压源，电桥将输出与压力对应的电压信号，这样传感器的电阻变化通过电桥转换成压力信号输出。 四、实验内容与步骤 1. 扩散硅压力传感器MP×10已安装在压力传感器模块上，将气室1、2的活塞退到20ml处，并按图4-1接好气路系统。其中P1端为正压力输入、P2端为负压力输入，P×10有4个引出脚，1脚接地、2脚为 Uo＋、3脚接+5V电源、4脚为Uo﹣；当P1＞P2时，输出为正；当P1＜P2时，输出为负。 2. 检查气路系统，分别推进气室1、2的两个活塞，对应的气压计有显示压力值并能保持不动。 3. 接入+5V、±15V直流稳压电源，模块输出端Uo2接控制台上数显直流电压表，选择20V档，打开实验台总电源。 4. 调节Rw2到适当位置并保持不动，用导线将差动放大器的输入端Ui短路，然后调节Rw3使直流电压表200mV档显示为零，取下短路导线。 5. 退回气室1、2的两个活塞，使两个气压计均指在“零”刻度处，将MP×10的输出接到差动放大器的输入端Ui，调节Rw1使直流电压表200mv档显示为零。 6. 保持负压力输入P2压力零不变，增大正压力输入P1的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到0.095Mpa；填入表4-1。 P(KP) 0.01 0.015 0.02 0.025 0.03 0.035 0.04 0.045 0.05 Uo2(V) 0.851 1.046 1.273 1.38 1.67 1.763 2.04 2.13 2.3 P(KP) 0.055 0.06 0.065 0.07 0.075 0.08 0.085 0.09 0.095 Uo2(V) 2.52 2.72 2.82 2.96 3.12 3.16 3.38 3.52 3.56 7. 保持正压力输入P1压力0.095Mpa不变，增大负压力输入P2的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到0.095Mpa；填入表4-2。 P(KP) 0.01 0.015 0.02 0.025 0.03 0.035 0.04 0.045 0.05 Uo2(V) 3.32 3.18 3.1 2.93 2.75 2.58 2.52 2.34 2.08 P(KP) 0.055 0.06 0.065 0.07 0.075 0.08 0.085 0.09 0.095 Uo2(V 1.94 1.77 1.52 1.35 1.12 0.93 0.68 0.41 0.2 8. 保持负压力输入P2压力0.095Mpa不变，减小正压力输入P1的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到0.0Mpa；填入表4-3。 P(KP) 0.095 0.09 0.085 0.08 0.075 0.07 Uo2(V) 0.2 0.1 -0.236 -0.396 -0.574 -0.741 P(KP) 0.065 0.06 0.055 0.05 0.045 0.04 Uo2(V -0.884 -1.064 -1.176 -1.32 -1.437 -1.557 P(KP) 0.035 0.03 0.025 0.02 0.015 0.01 Uo2(V -1.69 -1.802 -1.92 -1.97 -2.1 -2.26 9. 保持负压力输入P1压力0Mpa不变，减小正压力输入P2的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到0.0Mpa；填入表4-4 P(KP) 0.095 0.09 0.085 0.08 0.075 0.07 0.065 0.06 0.055 U