薄膜物理与技术课件11.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 7 薄膜的形成 7.0 薄膜生长过程概述 薄膜生长过程直接影响薄膜的结构及其最终性能。 吸附、反射、扩散、再蒸发、凝结、形核、岛形成、合并与生长、形成连续膜层。 * 薄膜的特点 ⑴厚度薄（微米以下）； ⑵内部缺陷多； 一般，我们接触的物体——温度缓慢变化、几乎处于热平衡状态下制作的——内部缺陷少，形状一般为块状。 ⑶表面效应显著（二维结构）。 从上面几点，薄膜与常见物体有很大差异。 薄膜结构和性能的差异与薄膜形成过程中的许多因素密切相关。制备方法不同，形成的机理不同，但在许多方面，有共性特点。 本章以真空蒸发薄膜的形成为例进行重点讨论。 * 7.1 吸附、表面扩散、凝结过程 7.1.1 吸附 吸附现象 带有一定的能量的气相原子到达基板表面后，可能： （1）与基板原子之间进行能量交换被吸附； （2）吸附后，气相原子仍有较大的解析能，在基板表面短暂停留后，再解析蒸发； （3）与基板表面不进行能量交换，直接被基板反射回去。 绝大多数气相原子都被吸附到表面， 若吸附仅由原子电偶极矩之间的范德华力起作用——物理吸附； 若吸附由化学键结合力起作用——化学吸附。 * 物理和化学吸附 （1）用发热量大小区分：物理－发热量小；化学－发热量大。 （2）用位能曲线表示：引力、斥力作用，使分子停留在一个位能最小的位置上。 在物理吸附场合，引力、斥力合成的位能曲线如虚线所示，吸附分子落在能量最低点，并在其附近作热振动。 在化学吸附场合，靠近表面的分子首先被物理吸附，如果因某种原因使它获得了足够的能量而越过A点，就会发生化学吸附，放出大量的能量。 Ea——激活能；Ed——解析能；Hp——物理吸附热； Hc——化学吸附热； 吸附时间 吸附时间与解析能Ed的关系为： τ0——表面原子的振动周期，k——玻尔兹曼常数，T——温度。 * 入射到基体表面的气相原子在表面上形成吸附原子后，它就失去了在表面法线方向的动能，只具有与表面水平方向相平行运动的动能。靠这种动能，吸附原子在表面上作不同方向的表面扩散运动。 在表面扩散过程中，单个吸附原子间相互碰撞形成原子对之后才能产生凝结。因此在研究薄膜形成过程时所说的凝结就是指吸附原子结合成原子对及其以后的形成过程。 吸附原子的表面扩散运动是形成凝结的必要条件。 表面扩散能ED比脱附活化能Ed小的多，约为后者的1/6～1/2。 7.1.2 表面扩散 * 吸附原子在一个吸附位置上的停留时间称为平均表面扩散时间，用τD表示，它与表面扩散能ED之间的关系是 其中τ0’表示表面原子沿表面水平振动的周期，大约为10－13～10－12秒，一般认为τ0＝ τ0’。 吸附原子在表面停留时间经扩散运动所移动的距离，称为平均表面扩散距离,并用 表示，它的数学表达式为 式中D是表面扩散系数。 若用 表示相邻吸附位置的间隔，则表面扩散系数定义为 。这样，平均表面扩散距离 可表示为 表面扩散能ED越大，扩散越困难，平均扩散距离 也越短。吸附能Ed越大，吸附原子在表面上停留时间 越长，则平均扩散距离 也越长。这对形成凝结过程非常有利。 * 7.1.3 凝结过程 概念 单位时间内沉积在单位基体表面上形成原子对及其以后的过程。 假设单位时间内，沉积在单位基体表面上的原子个数为J，吸附原子在表面的停留时间为 ，那么单位基体表面上的吸附原子数n1为 由此看出，沉积一停止(J=0)，n1立刻就等于零。在这种情况下，即使连续地进行沉积，气相原子也不可能在基体表面发生凝结，形成凝结相。 吸附原子表面扩散时间为 ，它在基体表面上的扩散迁移频率fD为 假设 ，则吸附原子在基体表面停留时间内所迁移的次数为 * 很清楚，一个吸附原子在这样的迁移中与其它吸附原子相碰撞就可形成原子对。这个吸附原子的捕获面积SD为 式中，n0是单位基体表面上的吸附位置数。 由此可得出所有吸附原子的总捕获面积为： 若S∑1，即小于单位面积，在每个吸附原子的捕获面积内只有一个原子，故不能形成原子对，也就不发生凝结。 若1S∑ 2，则发生部分凝结。在这种情况下，平均地说，吸附原子在其捕获范围内有一个或二个吸附原子。在这些面积内会形成原子对或三原子团。其中一部分吸附原子在渡过停留时间后又可能重新蒸发掉。 若S∑ 2，平均地说，在每个吸附原子捕获面积内，至少有两个吸附原子。因此所有的吸附原子都可结合为原子对或更大的原子团，从而达到完全凝结，由吸附相转变为凝